L13EシリーズФ131超高処理フィルターカートリッジは、TFT-LCD製造における基板洗浄、エッチング、剥離、純水フラッシングなどのウェット処理用途向けに特別に設計されています。このフィルターは、さまざまな素材と幅広い除去率で提供されており、独自の構造と高いろ過面積により、交換と運用コストの削減を実現しています。また、各種プロセス液との相性も良く、G6-10プロセスに必要な200L/minを実現します。
特長とメリット
さまざまな材質と除去率で提供可能
高いろ過面積と長い耐用年数
高流量、低圧力損失
濾過の運用コストを削減
品質
管理された環境で生産されたカートリッジ
ISO9001認証取得の品質マネジメントシステムに基づき製造されています。
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