Cordis フロー・コントローラーは、クリッパード社の比例バルブの上流に、極めて反応の速い MEMS 技術センサーを採用しています。他のマス・フロー・コントローラーとは異なり、Cordisフロー・コントローラーはウォームアップが1分未満で済み、圧力降下≤14" H2Oを特徴とし、0~30sccmの低流量レンジを含みます。標準制御オプションには、0.2~10 VDC、4.32~20 mA、3.3 VDCシリアルがあります。IP65ハウジングは軽工業用として使用可能。
50:1のターンダウン比
コンパクトなサイズと重量
≤14" H2O以下の圧力損失
<1分のウォームアップ
複数の低流量レンジ
<50 msの応答時間
≤25 mV以下の分解能
オプションの内蔵レギュレーター
**注 - 現在の価格については工場にお問い合わせください。
2Dファイル - 2Dファイル
精度 - フルスケールの2%以下
アプリケーション - アプリケーションフォーム
消費電流 - 最大250mA以下
データシート - データシート
ろ過 - 40ミクロン(推奨)
流量範囲 - 最小:0~15 sccm、最大0~6 l/分
機能 - ノーマルクローズ比例
ヒステリシス - ≤1
直線性 - ≤1
材質、マニホールド - 陽極酸化アルミニウム
材質、センサー - ポリアミド
最大インレット - 60 psig(4 bar)
媒体 - クリーン、ドライ、非腐食性ガス
取り付け姿勢 - 任意
取扱説明書 - 取扱説明書
動作温度範囲 - 比例弁:0~49°C(32°~120°F)
圧力損失 - ≤14" H2O
製品ラインパンフレット - Cordis電子制御機器
再現性-≤1
分解能 - 25 mV以下
応答時間 - <50 ms(アプリケーションによる)
ターンダウン比 - 50:1
電圧 - 15~24 VDC
ウォームアップ時間 - <1分
重量(ポンド) - 0.4000
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