低圧プラズマ表面洗浄装置 Tetra 30

自動医療

テトラ30プラズマシステムは、主に以下の分野で使用されています。 分析 (SEM、TEM) 考古学 自動車 ライフサイエンス エラストマー技術 電気工学 電子顕微鏡 精密工学 研究開発 半導体技術 小ロット生産 プラスチック技術 医用工学 マイクロシステム技術 太陽電池技術 繊維技術 モデル1、標準システム BASIC PC コントロール 基本ユニット タイプ A (W 600 mm x D 800 mm x H 1,700 mm) 真空チャンバー 長方形、アルミニウム、ヒンジ式ドア (W: 305 mm, D: 370 mm, H: 300 mm) ガス供給 MFC モデル2、標準システム 基本ユニットタイプAのFULL PCコントロール 真空ボックス 長方形、アルミニウム製、ヒンジ式ドア (幅：305 mm、奥行き：370 mm、高さ：300 mm) ガス供給 MFC モデル3、腐食性ガスシステム（例：フッ素系プロセスガス用） BASIC PCコントロール 基本ユニットA型 (W 600 mm x D 800 mm x H 1,700 mm) 真空ボックス 長方形、アルミニウム製、ヒンジ式ドア (W: 305 mm, D: 370 mm, H: 300 mm) ガス供給 MFC モデル4、腐食性ガスシステム（例：フッ素系プロセスガス用） FULL PCコントロール搭載ベーシックユニット タイプA (W 600 mm x D 800 mm x H 1,700 mm) 真空ボックス 長方形、アルミニウム製、ヒンジ式ドア (W: 305 mm, D: 370 mm, H: 300 mm) ガス供給 MFC 5型、プラズマ重合システム BASIC PCコントロール 基本ユニットA型 (幅600mm×奥行800mm×高さ1700mm) 真空チャンバー 長方形、アルミニウム、ヒンジ式ドア (W: 305 mm, D: 370 mm, H: 300 mm) ガス供給