エネルギー分解能:129 eV(Mn-Kα)相当の高性能検出器
Live EDSは観察位置の元素情報をリアルタイムに表示
高精度パイルアップ補正機能によるハイスループット分析が可能
TruMap機能でピークが重なる元素を分離して正しく表示
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TM4000PlusIIとの組み合わせ例
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検出器内蔵型
(製造元:英国オックスフォードインストゥルメンツ)
価格:お問い合わせください
取扱会社:株式会社 日立ハイテク
特長
AZtecシリーズは、以下3機種をラインアップしています。
スタンダード:AZtecOneXplore
ライブEDS対応:AZtecLiveOneXplore
多機能分析:AZtecLiveLite
AZtecLiveOneXplore
Live EDS機能
観察している領域のX線スペクトルと自動定性された元素情報を常に画面に表示します。 二次電子像、反射電子像だけでなく着目箇所の元素情報をリアルタイムで表示することができます
TruMap機能
TruMap機能による高精度/高信頼性のX線分布の表示
TruMap機能は、ピークが重なる元素同士をリアルタイムにピーク分離してマップ表示します。
通常のマップでは重なってしまうMg-KとAs-Lもピークの重なりの影響なく元素マップ像が得られます。
拡張システム
フレキシブルな条件設定と高機能解析を提供します。モータステージとの併用により分析の自動化が可能です。
広領域マッピングパッケージ、粒子解析パッケージをご用意しています。
広領域マッピング
指定した複数領域を自動でデータ収集し、合成した1つのマッピング情報を生成します。