温度センサー AWM40000

流量ガス医療

補償型または非補償型 ±25.0SCCM、1.0SLPM、6.0SLPM アナログ出力 動作 Microbridgeマスエアフローセンサは、熱伝導原理を利用して動作します。マスエアフローは、検出素子の表面を流れてゆきます。出力電圧は、パッケージの吸気および排気ポートを通過する空気の質量あるいは他のガスの流量に比例して変化します。特別に設計されたハウジングが、微細構造の検出素子を通してエアフローの流れを正確に導き、制御します。パッケージの機械的設計により、プリント回路基板に容易に取り付けることができます。 Microbridgeマスエアフローセンサは、高度な微細構造テクノロジを基にした独自のシリコンチップを備えています。薄膜、ヒータと温度検出素子を含む、熱絶縁されたブリッジ構造で構成されています。ブリッジ構造により、チップ上を流れる空気または他のガスを、高感度かつ迅速に検知できます。中央加熱素子の両側に位置する二重の検出素子は、流れの方向および流量を示します。レーザートリムされた厚膜および薄膜抵抗器により、デバイス間の一貫した互換性が確保されます。 Microbridgeマスエアフローセンサは、シリコン窒化物の薄膜を堆積した温度検出抵抗器を使用しています。この温度検出抵抗器は、シリコン内のエッチングキャビティ上に2つのブリッジ形状で吊り下げられます。このチップは、精確に配置されたエアフローチャンネルに設置され、流量に対して再現性のある応答を提供します。フローセンサブリッジ下部にあるキャビティ空間のエッチングにより、ヒーターと検知抵抗器の非常に効果的な熱的分離を実現しました。Microbridgeマスエアフローセンサの小型化および熱的分離により、フローへの非常に高速な応答および高い感度が可能になります。