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分光学エリプソメータ UVISEL Plus In-Situ

分光学エリプソメータ
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特徴

タイプ
分光学

詳細

リアルタイム薄膜監視用In-situ 分光エリプソタ UVISEL Plus in-situ 分光エリプソテサは、プロセスチャンバ(PECVD、MOCVD、スパッタ、蒸発、ALD、MBE)に簡単に取り付け、薄膜蒸着またはエッチングプロセスのリアルタイム制御が可能です。 UVISEL Plus in-situ は、非常に高速、感度、ダイナミックレンジ、精度のユニークな組み合わせを提供し、素早いプロセスでも、原子層の厚さレベルで蒸着/エッチングを制御することができます。 当社の新しい適応キットを使用すると、ゴニオメーター上のin-situおよびベンチトップアプリケーションに同じ楕円体を使用することが可能です。 2つの構成間の切り替えとシステムの調整は非常に簡単です。

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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。