質量流量計 FLATREG MFC

酸素エア二酸化炭素 (CO2)

FLATREG MFCはOEM向けに設計されたコンパクトな質量流量コントローラで、CHIPREG MFCの22 mmプラットフォームを基盤に、開発の複雑さを低減し設計サイクルを短縮しつつ精密で安定した質量流量制御を提供します。

主な特長：

• CHIPREG MFCの独自の小型22 mmサイズを採用 — OEMガス流量制御のベンチマーク
• 拡張された流量範囲：最大40 L/min
• 拡張された圧力範囲：最大10 barg
• 要求に応じたカスタムバリアント対応 — 例：漏れ特性の強化

バリアント（選択可能なモデル）：

• 40M0201CJ1811 311000 — 20 L/min — マニホールド
• 40M0201CJ5811 311000 — 20 L/min — インライン G 1/4''
• 40M0401CJ1811 311000 — 40 L/min — マニホールド
• 40M0401CJ5811 311000 — 40 L/min — インライン G 1/4''

技術仕様：

• 流量範囲：0-40 L/min; 0-20 L/min; カスタム流量は要問い合わせ
• 使用ガス：空気; CO2; N2; O2
• 精度：フルスケールの±0.2%（流量最大の0-10%領域）；読み取り値の±2.0%（10-100%領域）
• 動作電圧：24 V d.c. ± 10%
• 空気配管接続：インライン仕様（G1/4''); マニホールド取付
• 電気接続：JST Connector BM06B-GHS-TBT
• アナログ入出力：0〜5 V d.c.
• 主な用途：分析用途; Applied Fluidics; バイオサイエンス; 医療機器
• 内部・外部リーク率：標準：<10^-2 mbar l/s（空気） @ 7 barg; 要求対応：<10^-6 mbar l/s（He）
• 品質：生産ラインで100%のデバイスを試験