用途主な特徴- 石油化学。イオンビームエッチングホログラフィックグレーティング、3600 L/mmまたは2400 L/mm。
仕様RFパワー技術パラメータ:
回路タイプ: 固体RF電源、オートマッチ機能付き
周波数: 27.12 MHz ± 0.05%
周波数安定性: < 0.1 %
出力電力: 800 W - 1200 W
出力電力安定性: < 0.3 %
逃げたRF放射: 機器から30 cm離れた場所で、電界: E < 2V/m
サンプリングシステム技術パラメータ:
出力作業コイル内径: 25 mm
トルクチューブ: 3つの同心円、外径20 mm
同軸ネブライザー: 外径6 mm
二重バレル噴霧室: 外径34 mm
ガス流量制御:
プラズマアルゴン流量計: (100-1000) L/h (1.6-16 L/min)
補助アルゴン流量計: (10-100) L/h (0.16-1.66 L/min)
キャリアアルゴン流量計: (10-100) L/h (0.16-1.66 L/min)
圧力維持バルブ: 0 - 0.4 MPa
冷却水: 温度: 20-25 °C, 流量 >5 L/min, 水圧 >0.1 Mpa
分光計:
光学系: Czerny-Turner型
焦点距離: 1000 mm
グレーティング: イオンビームエッチングホログラフィックグレーティング、3600 L/mmまたは2400 L/mm
逆線形分散: 0.26 nm/mm
分解能: ≤ 0.007 nm (3600ライングレーティング); ≤ 0.015 nm (2400ライングレーティング)
波長範囲: 3600ライングレーティング: (190 nm ~ 500) nm; 2400ライングレーティング: (190 nm ~ 800) nm
ステッピングモーターの最小ステップ: ≤ 0.0006 nm
出射スリット: 12 µm
入射スリット: 10 µm
光電変換器の性能:
光電子増倍管仕様: R293/R928
PMTの負のHV: 0 - 1000 V
安定性: < 0.05 %
技術的特徴 / 仕様- モデル: SPE51-1200
- オートマッチ機能付き固体RF電源
- 周波数: 27.12 MHz ± 0.05%
- 出力電力: 800 W - 1200 W
- 光学系: Czerny-Turner型
- グレーティング: イオンビームエッチングホログラフィックグレーティング、3600 L/mmまたは2400 L/mm
- 分解能: ≤ 0.007 nm (3600ライングレーティング); ≤ 0.015 nm (2400ライングレーティング)
- 波長範囲: 190 nm ~ 500 nm (3600ライングレーティング); 190 nm ~ 800 nm (2400ライングレーティング)
- 光電子増倍管: R293/R928