実験用エバポレーター Turbo II 2852PE

MSPのTurbo II™ Vaporizer 2852PEは、低～中程度の蒸気流量を必要とする高精度のマイクロエレクトロニクスアプリケーション向けに設計されています。現場で実績があり、信頼性が高く、メンテナンスが容易なMSP Turbo™ベイポライザーをベースにした新しい2852PEは、非常に小さな設置面積を維持しながら、安定した蒸気濃度を提供します。2852PEはまた、極めて高速な流量応答を実現するオンボード流量制御バルブを備えています。 製品詳細 寸法（HxWxD） - 198 mm x 84 mm x 114 mm (7.8'' x 3.3'' x 4.5'') 重量 - 2.5 kg（5.6 ポンド） 継手（ユニット上 キャリアガスインレット - 1/4 in.VCR メス割りナット 液体インレット - 1/8 in.VCR メス 蒸気アウトレット - 1/4 in.VCRメス割りナット 圧縮空気 - 4 mmインスタントチューブ継手 接液部品 - SS 316、PEEK、Elgiloy®、ニッケル 漏れ完全性 - ≤ 1x 10-8 Pa-m3/s ヘリウム ヒーター電源要件1 - 208 VAC、60 Hz、450 W キャリアガス - 不活性ガスを推奨 最大キャリアガスフロー1 - 2.0標準リットル/分 N2 @ 50 psig 最大液体流量2 - 7 g/分（TEOSまたは同等品） システム圧力限界 - 150 psig 圧縮空気 - 90～110 psig 温度範囲3 - 40°C～180°C 温度センサー - ↪Lu_198 熱電対2個 付属品 - 電源ケーブル付属（3 m）。AMP CPC、4ピンコネクタ、反対側にフライングリード3本付き 仕様は予告なく変更されることがあります。 1 最大キャリア流量、ヒーター電力（W）、ライン電圧は工場で調整可能です。www.tsi.com/contact で詳細をご確認ください。 2 最大液体流量はプロセスに依存します。仕様では、気化器温度180℃、最大キャリアガス流量、気化器直下流圧力50Torr未満を想定しています。 3 適切なベントが必要。