医療ガス圧力調整器 RX3000

実験用

RX3000は、高純度および超高純度アプリケーション用に特別に設計された、1段式フリーダイアフラム圧力レギュレーターです。その1段式設計は優れた流量安定性を提供し、そのスレッドレス設計は最高レベルの純度を保証します。 主な利点 高純度レベルを実現する全バージョンの独自のスレッドレス設計 最適化された供給圧力効果と優れた流量安定性 CGA E4に準拠した寿命 クリーンルームでの組立、試験、包装クラスISO 4 完全なトレーサビリティのための個別シリアル番号 SEMI F19 UHPグレードに準拠した電解研磨表面 UHP材料 - Semi F20オプションあり 仕様 温度範囲 -20°C ～ +65°C (-4°F ～ +149°F) レギュレータータイプ フリーダイアフラム 破裂圧力 作動圧力の300 プルーフ圧力 使用圧力の150 認定最大ヘリウム漏れ率（最高圧力時）≤ 1 x 10-9 mbar.l/s 認証された最大ヘリウム漏れ率（最大圧力時） - ≤ 1 x 10-8 mbar.l/s 認証された最大ヘリウム漏れ率 ≤ 1 x 10-9 mbar.l/s