検査用カメラ Linea HS2

ライフサイエンス用リニアCMOS

概要
Linea HS2 は、低照度環境での超高速イメージング向けに設計された TDI ラインスキャンカメラです。水平解像度は 8192 または 16384 を選択可能で、5 µm ピクセルのバックサイドイルミネーテッド（BSI）マルチアレイ charge‑domain TDI CMOS センサーを採用し、最大ラインレートは 1 MHz に達します。デュアル Camera Link HS（CLHS）CX4 コネクタとアクティブ光ケーブルにより、高スループットで EMI に強い接続が可能です。

主な特長

• バックサイドイルミネーション（BSI）マルチアレイ charge‑domain TDI CMOS センサー
• 水平解像度：8192 または 16384（マルチアレイ TDI 構成）
• ピクセルサイズ：5 µm
• 最大ラインレート：1 MHz（1000 kHz）
• デュアル CLHS CX4 インターフェースで最大 16 GB/s の合計スループット
• オンチップビニングによりウェブ速度とスループットを向上
• ラインレート、ダイナミックレンジ、フルウェルを用途に応じて切替可能な設定
• アクティブ光ケーブル（AOC）により EMI 免疫性とケーブル長の延長が可能
• 従来の Linea HS モデルからのダイレクトアップグレードを考慮した設計（同一ピクセルサイズ、光学系、ケーブル、マウント）

統合イメージングソリューション
Linea HS2 は Teledyne の Xtium3 CLHS ファミリー（例：Xtium3 CLHS PX8）と統合して次世代 CLHS を活用できます。システムは複数台の PC への並列データ転送（最大 12 台）をサポートし、AOC により 100 m を超えるケーブル長でも信号品質を維持します。

代表的な用途

• 半導体ウェハ検査
• 高密度パッケージ検査
• フラットパネルディスプレイ（FPD）検査
• 遺伝子シーケンシング
• デジタル病理

ファミリーハイライト / 表
カメラ種別：TDI Line Scan
センサー技術：CMOS（BSI、マルチアレイ charge‑domain TDI）
対応インターフェース：Camera Link HS（CLHS）
対応スペクトル：UV（350–400 nm）、可視（400–700 nm）、NIR（700–1000 nm）

技術仕様

• 解像度：8192 x 288 および 16384 x 288（マルチアレイ TDI 構成）
• ピクセルサイズ：5 µm
• センサー：バックサイドイルミネーテッド マルチアレイ charge‑domain TDI CMOS
• 最大ラインレート：1000 kHz（1 MHz）
• インターフェース：Dual Camera Link HS（CLHS）CX4
• データスループット：最大 16 GB/s（デュアル CLHS）
• オンチップビニング：対応
• 光学接続：アクティブ光ケーブル（AOC）による EMI 免疫性および >100 m のケーブル長
• システム互換性：Xtium3 CLHS フレームグラバと互換；マルチ PC 並列処理用データ転送をサポート
• スペクトル感度：UV（350–400 nm）、可視（400–700 nm）、NIR（700–1000 nm）