光学顕微鏡 VEGA

走査電子検査用研究所用

TESCAN VEGAの第4世代タングステンフィラメント電子源搭載走査型電子顕微鏡（SEM）は、SEMイメージングとライブ元素組成分析をTESCANのEssence™ソフトウェアの単一ウィンドウに統合しています。この組み合わせにより、サンプルの形態データと元素データの取得が大幅に簡素化され、VEGA SEMは品質管理、故障解析、研究所のルーチン材料検査における効率的な分析ソリューションとなります。 完全に統合されたTESCAN Essence™ EDSを特徴とする分析プラットフォームは、単一のEssence™ソフトウェアウィンドウでSEMイメージングと元素組成分析を効率的に組み合わせます。 In-flight Beam Tracing™によるTESCAN独自のアパーチャレス光学設計により、最適なイメージングと分析条件をすぐに利用できます。 独自のWide Field Optics™設計により、光学ナビゲーションカメラを追加することなく、2倍という低倍率で試料上のSEMを簡単かつ正確にナビゲーションすることが可能です。 SingleVac™モードを標準装備し、帯電やビームに敏感な試料の観察が可能。 直感的でモジュール化されたEssence™ソフトウェアにより、ユーザーの経験レベルに関係なく簡単に操作できるように設計されています。 ステージと試料が動いているときのチャンバーマウント検出器の究極の安全性は、Essence™ 3Dコリジョンモデルで保証されています。 真空バッファー（オプション）により、真空ポンプの稼働時間を大幅に短縮し、エコロジーとエコノミーの両面でメリットを提供します。 モジュール式分析プラットフォームは、オプションで幅広い種類の検出器（例：CL、水冷BSE、RAMANスペクトロメーター）を搭載することが可能です。