真空コーティング システム TT-DSR1

フィルム製薬産業試料

TT-DSR1 Desk SEM Coaterは、金（Au）、パラジウム（Pd）、白金（Pt）、金/パラジウム（Au/Pd）などの貴金属薄膜を非導電性または低導電性の試料にコーティングすることができる小型コーティング装置です。微細な粒径を持つ均一な薄膜を高速なサイクルタイムで形成することができます。生成された薄膜は、走査型電子顕微鏡（SEM）分析に適しています。 デスクマグネトロンスパッタコーター（DSR1）は、完全自動化システムにおいて、一貫した再現性の高い結果を提供する高生産性ツールです。人間工学に基づいた設計で、小さなフットプリントのDSR1 SEMコーティングシステムは、簡単に使用することができます。 TT-DSR1は、スパッタコーターとカーボンコーター（スレッド）を1台の装置で構成した、SEM試料作成システムのモジュールです。ロータリーポンプを搭載し、貴金属スパッタリングや蒸着に適した真空領域である50mTorr以下を実現した走査型電子顕微鏡（SEM）用試料作製装置です。 2段式ダイレクトドライブ4m3/hロータリベーンポンプ 高精度水晶振動子式膜厚計 直感的なタッチスクリーンによるコーティングプロセスの制御と迅速なデータ入力 ネットワーク経由で更新可能なユーザーフレンドリーなソフトウェア より微細な粒子構造を実現するためのコーティングレート制御 手動または自動のタイムドスパッタリングと厚みスパッタリング 簡単に交換できる試料台（回転ステージを標準装備）