Hitachiの電子式顕微鏡

分解能: 4, 60, 0.7, 50, 1.5 nm

「Ethos」は、日立ハイテクのコア技術である高輝度冷陰極電界放出型電子銃と新開発の電磁界重畳型レンズにより、低加速電圧での高分解能観察を可能とし、リアルタイムFIB加工観察と両立しました。 さらに、SEMカラム内に3つの検出器を搭載することで、二次電子による形状コントラストや反射電子による組成コントラストを同時観察でき、ナノメータースケールの構造物を見逃すことなく観察・解析し、特定箇所を正確に捉えたFIB加工を可能としています。 また新設計の大容量試料室には、EDS*1やEBSD*2などの ...

倍率 : 20 unit - 2,000,000 unit

SU8700は高空間分解能と多様な信号検出による観察能力で、デバイスや材料の解析からライフサイエンスまで幅広い分野での観察・分析業務をサポートします。 ショットキーFE電子銃搭載により、極低加速電圧観察から大照射電流を要する高速分析まで幅広い解析手法に対応します。 光学系の自動調整機能やデータ取得自動化を支援するオプション機能を搭載し、大量データの自動取得を可能にしました。 * 装置写真はオプション付属の状態です。 価格：お問い合わせください 取扱会社：株式会社 ...

倍率 : 20 unit - 2,000,000 unit

... により、低エネルギー/低電流条件でも高いS/Nの画像を提供します。 高コントラストの低加速反射電子像 ExB光学系と検出信号制御機能により、目的に応じて二次電子/反射電子信号を分離しての画像取得が可能です。 右の画像では3D NANDキャパシタ部の酸化膜と窒化膜の層構造を反射電子の組成コントラストで観察しています。 高速応答性反射電子検出 新規開発されたシンチレータ型反射電子検出器（OCD）は応答速度の向上により、観察部位を特定しやすくなりました。 右の画像は1秒未満 ...

倍率 : 600,000, 800,000, 1,000,000 unit
分解能: 0.2, 0.14 nm

... レンズを備えたHT7830をラインナップする120 kV透過電子顕微鏡です。 新設計オペレーションで、ルーティンワークの対応も可能にする革新的な操作性を実現しました。 極上のTEM解析ソリューションを皆さまへご提供します。 価格：お問い合わせください 取扱会社：株式会社 日立ハイテク 特長 日立独自の複合対物レンズにより、低倍率の広視野・高コントラスト観察から高分解能観察までをサポート 明るい部屋でデジタル操作環境と各種オート機能により、初心者からエキスパートまでの ...

倍率 : 5 unit - 800,000 unit

日立ハイテクの走査電子顕微鏡 SU3800/SU3900は、操作性と拡張性を両立させました。 数々の操作もオート化し、高性能を効率的に活用することができます。 多目的大型試料室を搭載し、In-Situ解析にも対応しました。 ①大型試料に対応 ■大型/重量試料対応ステージ リスクを低減する試料交換シーケンス スループットを向上する試料交換室 自由度を高める、ステージ移動制限解除機能* ステージ移動の安全性を高める、チャンバスコープ* ■可動範囲を全域サポート ...

倍率 : 60,000, 50,000, 1,000, 5,000 unit
分解能: 5, 4 nm

... 像分解能を実現。 新開発のユーザーインターフェース、電子光学系が高性能をさらに身近にします。 価格：お問い合わせください 取扱会社：株式会社 日立ハイテク 特長 FlexSEM 1000 IIは、新設計の電子光学系と高感度検出器により、加速電圧20 kVで像分解能 4.0 nmを実現しています。新開発のユーザーインターフェースは、明るさやフォーカスの自動調整機能の高速化により、短時間で多彩な観察を可能にします。また、電子顕微鏡の欠点であった視野探しの困難さを容易にする新ナビゲーション ...