真空圧力センサー

圧力範囲: 0.01 Pa - 101,000 Pa

... PVC5100シリーズは、完全に校正され、温度補償された真空トランスデューサーで、コスト効率の良いOEM統合用に設計されています。MEMS熱伝導センサー（ピラニセンサー）、測定電子機器、マイクロプロセッサーで構成され、超小型PCBアセンブリにパッケージされ、ISO-KF継手付きのステンレス鋼ハウジングに収められています。センシングエレメントは、気体の熱伝導率が真空圧に比例するという原理に基づいて動作する、Posifaの実績ある第2世代MEMS熱伝導チップをベースにしています。電子機器とマイクロプロセッサーがセンサー信号を増幅・デジタル化し、l2Cインターフェースを介してデジタル出力を提供します。真空の熱伝導率は周囲温度によって変化するため、内蔵温度センサーからの入力を受けて、温度補正アルゴリズムがマイクロプロセッサーに実装されています。統合を容易にするため、PVC5100にはコネクタ終端ワイヤーハーネスが含まれ、ISO-KF継手をサポートしています。 特長 - ...

圧力範囲: 13 Pa - 101,000 Pa

... ポシファのPVC3000シリーズMEMSサーモパイル真空センサーは、0.1ミリトル（0.013パスカル）から大気圧（760torr、101Kパスカル）までの有効レンジを提供することで、真空計測に画期的な進歩をもたらしました。対照的に、ピラニ真空センサーの上限レンジは通常30torrです。ピエゾ抵抗式圧力センサーは10torr以下の真空を測定できません。高価な静電容量式圧力センサーは、レンジの下限が0.1torrに制限されています。このように、PVC3000は2つのセンサー、すなわちピラニセンサーとピエゾ抵抗/静電容量式圧力センサーの役割を果たすことができます。さらに、PVC3000の消費電力は10mWと低い（デューティ・サイクル75％のパルス励起を想定）。より小さなデューティ・サイクルを使用することで、消費電力をさらに低減できます。PVC3000は、ポジファの第2世代熱伝導率センサダイ（PTCD20）を使用しており、気体の熱伝導率は真空圧に比例するという原理に基づいて動作します。PVC3000は、SMDまたはTO金属缶のいずれかのフォームファクターで入手可能です。 特長 - ...