Os cartuchos de filtro de rendimento ultra elevado da série L13E Ф131 foram especificamente concebidos para aplicações de processamento húmido no fabrico de TFT-LCD, tais como limpeza de substratos, gravação, decapagem e lavagem com água DI. Os filtros estão disponíveis em vários materiais e numa vasta gama de classificações de remoção, com a sua construção única e elevada área de filtração, resultando em custos reduzidos de substituição e de funcionamento. Têm uma excelente compatibilidade com os vários líquidos de processo, com capacidade para 200 L/min necessários para o processo G6-10.
Características e benefícios
disponível em vários materiais e classificações de remoção
alta área de filtragem e longa vida útil
altas taxas de fluxo e baixa queda de pressão
custos operacionais de filtragem reduzidos
Qualidade
cartuchos produzidos num ambiente controlado
fabricados de acordo com o Sistema de Gestão da Qualidade certificado pela ISO9001
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