Scanner de Wafer completo - Plataforma de alto rendimento
Captura de imagens de wafer inteiro
Resolução da imagem: 20.000 x 20.000 pixels (~1,6GB), 10um/pixel
Formato da imagem: TIFF
Imagem de Wafer Inteiro
Analisando
Auto-alinhamento e auto-cercurso
Resolução: 2, 5, 10, 40 μm
Comprimento de onda de excitação laser: 532 nm e 635 nm
Potência do laser
532 nm: 13+/-10% mW
635 nm: 13+/-10% mW
Fluoróforos compatíveis: Cy3 e Cy5
Tamanho da bolacha: 4"~12" Si/Glass wafer
Área de digitalização: bolacha inteira
Capacidade de carga: 1 wafer
Tipo de detecção: Foco dinâmico com confocal em tempo real e 2 PMTs
Velocidade de digitalização: 21 mins @10 μm (wafer de 8")
Sensibilidade: <0.2 fluoro/μm²
Gama dinâmica: 10⁴
Resolução digital: 16 bits
Formato do ficheiro: TIFF
Software de funcionamento (BioScan control & BioImage Analyzer)
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