Microscópio SEM SU8600

de varredura com emissão de campode laboratório3D

O SU8600 traz uma nova era de microscópios electrónicos de varrimento por emissão de campo frio de resolução ultra-alta para a linha Hitachi EM de longa data. Esta revolucionária plataforma CFE-SEM incorpora imagens multifacetadas, automação, maior estabilidade do sistema, fluxos de trabalho eficientes para utilizadores de todos os níveis de experiência e muito mais. Ultra-alta resolução A fonte de emissão de campo frio de alto brilho da Hitachi fornece imagens de altíssima resolução mesmo em tensões ultrabaixas. Um sistema de deteção inteligente para imagens de BSE de baixa tensão Imagem de secção transversal de NAND 3D; A camada de óxido e a camada de nitreto do condensador são facilmente distinguíveis na imagem devido à capacidade de deteção de BSE. Deteção rápida de BSE: Novo BSED tipo cristal fora da coluna (OCD) Ao utilizar o novo BSED (OCD)* do tipo cristal fora da coluna, o tempo de aquisição da imagem foi inferior a UM SEGUNDO, mas a interligação da camada inferior e a estrutura Fin FET da SRAM são claramente visíveis. Experiência de utilizador melhorada com automatização avançada A opção de software "EM Flow Creator" permite aos utilizadores configurar sequências de operações SEM repetíveis. Várias funções de SEM podem ser montadas na janela do EM Flow Creator através de um método de arrastar e largar e depois guardadas como uma receita para utilização posterior. Uma vez configurada uma receita, a recolha automática de dados sob as condições definidas pode ser efectuada com elevada precisão e repetibilidade. Interface Flexível A configuração de monitor duplo suporta um espaço de trabalho flexível e altamente eficiente. Visualize e guarde 6 sinais em simultâneo para obter mais informações em menos tempo.