O Vaporizador Turbo II™ 2855PE da MSP foi concebido para aplicações microelectrónicas de alta precisão que requerem caudais de vapor médios a elevados. Com base nos vaporizadores MSP Turbo™ comprovados no terreno, altamente fiáveis e de baixa manutenção, o novo 2855PE proporciona o dobro da saída de vapor numa área de implantação que é metade do tamanho.
Detalhes do produto
Dimensões (AxLxP) - 236 mm x 84 mm x 142 mm (9,3'' x 3,3'' x 5,6'')
Peso - 5,2 kg (11,5 lb)
Conexões (na unidade) -
Entrada de gás do transportador - 1/4 in. Porca fêmea VCR
Entrada de líquido - 1/8 pol. VCR fêmea
Saída de Vapor - 1/4 in. VCR fêmea
Ar Comprimido - encaixe para tubo instantâneo de 4 mm
Partes molhadas - SS 316, PEEK, Elgiloy®, Níquel, PCTFE
Integridade da fuga - ≤ 1x 10-8 Pa-m3/s Hélio
Requisitos de potência do aquecedor1 - 208 VAC, 60 Hz, 900 W
Gás de transporte - Recomenda-se gás inerte
Fluxo máximo de gás de transporte1 - 10 litros padrão/min N2 @ 50 psig
Fluxo máximo de líquido2 - 40 g/min (TEOS ou equivalente)
Limite de pressão do sistema - 150 psig
Ar Comprimido - 90 a 110 psig
Faixa de temperatura3 - 40°C a 200°C
Sensor de temperatura - 2 termopares tipo K
Acessórios - Cabo de alimentação incluído (3 m). AMP CPC, conetor de 4 pinos com 3 cabos de ligação na extremidade oposta
Especificações sujeitas a alterações sem aviso prévio.
1 O caudal máximo do transportador, a potência do aquecedor (W) e a tensão da linha são ajustáveis na fábrica, visite www.tsi.com/contact para solicitar mais informações.
2 O fluxo máximo de líquido depende do processo. A especificação assume uma temperatura do vaporizador de 200°C, fluxo máximo de gás de transporte e pressão <50 Torr imediatamente a jusante do vaporizador.
3 É necessária uma ventilação adequada.
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