O NanoAir™ 10 Contador de Partículas de Condensação (CPC) é um novo produto revolucionário da Particle Measuring Systems (PMS). Proporciona a sensibilidade de um CPC com a facilidade de utilização e funcionalidade de um contador de partículas de sala limpa tradicional. Concebido para monitorizar ambientes ultra limpos, fornece uma sensibilidade de detecção de 10 nm a uma taxa de fluxo de amostras de 2,8 L/min (0,1 CFM).
O tamanho do NanoAir 10 é 83% mais pequeno do que os produtos da concorrência, tornando prática a sua utilização em qualquer lugar em ambientes ultra-limpos, incluindo no interior de ferramentas de processo de semicondutores e módulos front-end de equipamento (EFEM). O inovador sistema de manuseamento de fluidos de trabalho com patente pendente é robusto e eficiente, permitindo um funcionamento contínuo 24/7, 365 dias sem necessidade de manutenção ou intervenção do utilizador de qualquer tipo entre o reabastecimento anual de fluidos de trabalho e a calibração. Desta forma, reduzindo assim as interrupções de amostragem e recolha de dados e o tempo de paragem das ferramentas.
Um produto companheiro de 10 portas múltiplas (ParticleSeeker™) suporta aplicações que requerem a monitorização de múltiplas localizações de amostras em sequências sequenciais ou programadas.
Adicionalmente, o NanoAir é gás de alta pressão compatível com o HPD-III do PMS, e os dados podem ser visualizados, analisados, e comunicados utilizando o software de monitorização de instalações PMS Facility Net ou transmitidos directamente a sistemas SCADA de terceiros ou entradas de ferramentas de processo.
Detalhes do produto
O NanoAir™ 10 Contador de Partículas de Condensação (CPC) é um novo produto revolucionário da Particle Measuring Systems (PMS). Proporciona a sensibilidade de um CPC com a facilidade de utilização e funcionalidade de um contador de partículas de sala limpa tradicional. Concebido para monitorizar ambientes ultra-limpos,
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