Contador de partículas a laser Chem 20™

de processoonline

Processos microeletrônicos de ponta exigem produtos químicos de processo muito limpos, altamente filtrados e regulados até um tamanho de partícula de 20 nm ou menos. Com sensibilidade a partículas de 20 nm, o novo Contador de Partículas Químicas Chem 20 da PMS é o contador de partículas mais sensível do mundo para produtos químicos de processo de alta pureza. Dados extensivos sobre sistemas de distribuição e embalagem de produtos químicos comprovam que o contador Chem 20 da PMS, com sensibilidade de 20 nm, detecta maiores concentrações de partículas com estatísticas melhores do que produtos da concorrência. O Contador de Partículas Químicas Chem 20 é uma ferramenta valiosa que permite que os engenheiros de instalações e processos detectem e caracterizem rapidamente as fontes de partículas químicas antes que elas afetem o processo e o desempenho do dispositivo. Detalhes do produto Óptica de laser e detectores avançados permitem sensibilidade de 20 nm em produtos químicos Fluxímetro integrado de produtos químicos para definir o fluxo da amostra Primeiro contador de partículas otimizado para produtos químicos de baixo e alto índice de refração a fim de melhorar o desempenho: Contador Chem 20, para produtos químicos com índices de refração mais baixos Contador Chem 20-HI, adaptado para ácido sulfúrico e outros produtos químicos de índices mais altos Detecção integrada de vazamento para fornecer alarme em caso de vazamento interno de produtos químicos Detector e alarme de baixo fluxo para garantir dados consistentes Detector de bolhas para otimizar os dados e proteger o contador