No fabrico de semicondutores, mesmo o mais pequeno vestígio de contaminação pode comprometer a qualidade do produto. À medida que a miniaturização dos semicondutores continua a avançar, a minimização da contaminação orgânica ao nível dos vestígios tornou-se cada vez mais crítica para manter uma elevada taxa de rendimento do produto. Como resultado, as normas de qualidade para a água ultrapura utilizada no fabrico de semicondutores estão a tornar-se ainda mais rigorosas. Especialmente no processo de fabrico de semicondutores de ponta, a necessidade de detetar ureia e outros compostos difíceis de oxidar aumentou. A deteção destes compostos tem sido difícil utilizando técnicas convencionais. O analisador TOC-1000e S de TOC em linha para água ultrapura, incorporando o feedback dos fabricantes de semicondutores de ponta, foi desenvolvido para responder a estes desafios.
A Shimadzu tem sido um fornecedor fiável de analisadores TOC há mais de 50 anos, estabelecendo um legado como líder em instrumentos TOC. Agora, aproveitando estas décadas de experiência e técnicas avançadas, a Shimadzu fornece o analisador TOC-1000e S on-line para água ultrapura, especificamente concebido para satisfazer os rigorosos requisitos do moderno processo de fabrico de semicondutores.
Caraterísticas
Sensibilidade de deteção superior para compostos difíceis de oxidar
Elevada capacidade de oxidação com deteção exacta de ureia e outros compostos difíceis de oxidar
No fabrico de semicondutores, são produzidos grandes volumes de água ultrapura a partir de várias fontes de água. Durante este processo de purificação, as impurezas têm de ser removidas o mais possível. A ureia é particularmente difícil de eliminar devido às suas caraterísticas de difícil oxidação.
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