分光学エリプソメータ Auto SE

研究用

オートSEは、簡単なプッシュボタン操作で薄膜サンプルの全自動分析を可能にする新しい薄膜測定ツールです。 サンプル分析にかかる時間はわずか数秒で、膜厚、光学定数、表面粗さ、膜の不均一性など、薄膜スタックを完全に記述したレポートを提供します。 オートSEは、自動XYZステージ、測定部位のリアルタイムイメージング、スポットサイズの自動選択など、高度な機能を備えた装置です。様々なアプリケーションに対応するため、多くのアクセサリーが用意されています。 オートSEには、問題の自動検出と診断のための診断インジケータが内蔵されており、トラブルシューティングのための包括的なオペレーターガイダンスが用意されています。 オートSEは、使いやすさと数々の自動機能により、日常的な薄膜測定やデバイスの品質管理に理想的なターンキー装置となりました。 特長 自動ルーチンで薄膜分析が簡単に 高機能システム サンプルビジョン 25x60 µmまでのマイクロスポット 豊富なアクセサリー アプリケーション スペクトル範囲440-1000 nm スポットサイズ：自動選択 500x500 µm; 250x500 µm; 250x250 µm; 70x250 µm； 100x100 µm; 50x60 µm; 25x60 µm 検出CCD - 分解能：2nm サンプルステージ：真空チャック、z高さ 40 mm 試料観察CCDカメラ - 視野 1.33x1 mm - 分解能10μm ゴニオメーター70°固定 - 66°および61.5°に設定可能 豊富なアクセサリー 測定時間<2秒、標準5秒 精度 NIST 100nm d ± 4Å、n(632.8nm) ± 0.002 繰り返し精度 NIST 15nm ± 0.2 Å