分光学エリプソメータ Auto SE

シンプルな薄膜測定用分光エリプソメータ Auto SEは、簡単なプッシュボタン操作で薄膜サンプルの全自動分析を可能にする新しい薄膜測定ツールです。 サンプル分析にはほんの数秒しかかかりません。薄膜の厚さ、光学定数、表面粗さ、フィルム不均一性など、薄膜スタックを完全に説明した完全なレポートを提供します。 Auto SEは、自動XYZステージ、測定現場のリアルタイムイメージング、スポットサイズの自動選択を含む高度な機能を備えた機器です。 多くのアクセサリは、幅広い用途に対応できます。 Auto SEには、問題の自動検出と診断のための診断インジケータが内蔵されており、トラブルシューティングのための包括的なオペレータガイダンスが組み込まれています。 Auto SEは、使いやすさと数多くの自動機能で際立っています。Auto SEは、日常的な薄膜測定やデバイスの品質管理に最適なターンキー装置となっています。