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分光学エリプソメータ Smart SE

分光学エリプソメータ
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特徴

タイプ
分光学

詳細

強力で費用対効果の高い分光エリプソメータ スマートSE、強力で費用対効果の高い分光エリプソメーター HORIBA ScientificのスマートSEは、高速で正確な薄膜測定のための汎用性の高い分光エリプソメータです。 これは、いくつかのオングストロムから20μmまでの薄膜厚さ、光学定数(n、k)、および薄膜構造特性(粗さ、光学グレード、異方性層など)を特徴付けます。 450~1000nmのスペクトル範囲を数秒で測定し、DeltaPsi2ソフトウェアプラットフォームを使用して楕円データを分析します。 このソフトウェアは2つのレベルのソフトウェアを統合し、事前定義されたレシピによるルーチン分析と、最先端の楕円形モデリングによる高度な分析の両方を実現します。 Smart SE エリプソメータは、機能に妥協のない費用対効果の高い薄膜研究開発ツールです。研究グレードの性能を経済的な価格で提供します。 これは、正確なスポット位置決めのための統合ビジョンシステム、小さな特徴を測定するために数十ミクロンまでのサイズの7つの自動マイクロスポット、複雑なサンプルの研究のためにわずか数秒で完全な16要素ミュラーマトリックスを測定する機能を提供します。 Smart SEの柔軟な設計により、サンプルステージとゴニオメーターの完全な自動化と、プロセスチャンバでのin-situ使用が可能になります。 マイクロエレクトロニクス、太陽光発電、ディスプレイ、光学コーティング、表面処理、有機化合物など、幅広いアプリケーション分野のあらゆる用途や予算に適合します。

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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。