2821 MSP Turbo™ Vaporizerは、当社で最も液体流量の多いユニットです。このモデルは2400Wのヒーター出力を特徴とし、最大6000g/hr(TEOSまたは同等)の流量を供給するために使用できます。
製品詳細
寸法
417mm×140mm×183mm(16.4インチ×5.5インチ×7.2インチ)
継手(ユニット上
キャリアガスインレット - 1/4 in.VCR メス割りナット
液体インレット - 1/4 in.VCR メス
蒸気アウトレット - 1/2 in.VCRメス
圧縮空気 - 4 mmインスタントチューブ継手
接液部品 - SS 316、FFKM、PTFE、ニッケル
リーク完全性 - <1 x 10-9 Pa-m3/s (He)
必要ヒーター電力 - 220 VAC、60 Hz、2400 W
キャリアガス - 不活性ガスを推奨
最大キャリアガス流量1 - 80 psigで30標準リットル/分のN2
50 psigで20標準リットル/分 N2
最大液体流量2 - 6,000 g/hr.(TEOS相当)
600 g/hr.(H2Oまたは同等)
システム圧力限界 - 150 psig
圧縮空気 - 90~110 psi
温度範囲 - 40°C~200°C
気化器本体 - 多段熱交換器付き真空密閉チャンバー、SS 316構造
温度センサー - K型熱電対2個
仕様は予告なく変更されることがあります。
1 最大キャリアガス流量は調整可能です。詳細については www.tsi.com/contact をご覧ください。
2 最大液体流量はプロセスに依存します。仕様では、気化器温度180°C以上、N2キャリアガス流量≥20 SLPM、気化器直下流圧力<10 Torrを想定しています。
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