MSPのTurbo II™ Vaporizer 2855PEは、中~高蒸気流量を必要とする高精度マイクロエレクトロニクスアプリケーション向けに設計されています。現場で実証され、信頼性が高く、メンテナンスが容易なMSP Turbo™ベイポライザーをベースにした新しい2855PEは、半分の設置面積で2倍の蒸気出力を実現します。
製品の詳細
寸法(HxWxD)- 236 mm x 84 mm x 142 mm(9.3'' x 3.3'' x 5.6'')
重量 - 5.2 kg(11.5 ポンド)
継手(本体側
キャリアガスインレット - 1/4 in.VCR メス割りナット
液体インレット - 1/8 in.VCR メス
蒸気アウトレット - 1/4 in.VCRメス
圧縮空気 - 4 mmインスタントチューブ継手
接液部品 - SS 316、PEEK、Elgiloy®、ニッケル、PCTFE
漏れ保全性 - ≤ 1x 10-8 Pa-m3/s ヘリウム
ヒーター電源要件1 - 208 VAC、60 Hz、900 W
キャリアガス - 不活性ガスを推奨
最大キャリアガスフロー1 - 10標準リットル/分 N2 @ 50 psig
最大液体流量2 - 40 g/分(TEOSまたは同等品)
システム圧力限界 - 150 psig
圧縮空気 - 90~110 psig
温度範囲3 - 40°C~200°C
温度センサー - タイプK熱電対2個
付属品 - 電源ケーブル付属(3m)。AMP CPC、4ピンコネクター、反対側にフライングリード3本付き
仕様は予告なく変更されることがあります。
1 最大キャリア流量、ヒーター電力(W)、ライン電圧は工場で調整可能です。www.tsi.com/contact で詳細をご確認ください。
2 最大液体流量はプロセスに依存します。仕様では、気化器温度200℃、最大キャリアガス流量、気化器直下流圧力50Torr未満を想定しています。
3 適切なベントが必要。
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