製品説明D385Sは空圧式アクチュエータを備え、ガスの最高レベルの純度を維持するよう設計されています。結合型ダイアフラム技術により粒子発生を最小限に抑え、汚染リスクを低減します。D385Sは電子・半導体産業で用いられる超高純度(UHP)、腐食性、反応性および有毒ガス向けです。
主な利点- デッドスペースとガス濡れ体積の低減により効率的なパージが可能
- 空圧駆動によりガスが弁の作動機構に接触せず、固着を防止
- バックアップ溶接されたダイアフラムが恒久的で気密なシールを提供
- バーストディスク材質:ニッケル、AISI 316L
仕様ガス種:超高純度(UHP)、腐食性、反応性および有毒ガス
接続:(国際)国内規格および顧客仕様に準拠
流量:CV = 0.35
作動圧力:200 bar
本体材質:ステンレス鋼 1.4435 (AISI 316L)、Hastelloy® C22、ニッケル 200、Monel® 2.4375 (Monel 500 K)
温度範囲:-40 ~ +65 °C
リーク率:1·10^-8 mbar·L/s
シート口径:4 mm
マーキング:π0029(TPEDに準拠)、3つ星、弁番号、製造日
技術仕様- 型式:D385S
- 対象ガス:超高純度(UHP)、腐食性、反応性および有毒ガス
- 流量係数(CV):0.35
- 最大作動圧力:200 bar
- 本体材質:AISI 316L (1.4435)、Hastelloy C22、ニッケル 200、Monel 2.4375
- 温度範囲:-40 ~ +65 °C
- リーク率:1·10^-8 mbar·L/s
- シート口径:4 mm
- バーストディスク材質:ニッケル、AISI 316L
- マーキング:π0029(TPED)、3つ星、弁番号および製造日