高純水用TOC分析装置 TOC-1000e S

半導体製造では、わずかな汚染でも製品の品質を損なう可能性があります。半導体の微細化が進むにつれ、製品の歩留まりを高く維持するためには、微量レベルの有機物汚染を最小限に抑えることがますます重要になっている。その結果、半導体製造に使用される超純水の品質基準はさらに厳しくなっている。特に最先端半導体の製造工程では、尿素などの酸化しにくい化合物を検出する必要性が高まっている。これらの化合物の検出は、従来の技術では困難でした。超純水用オンラインTOC分析装置TOC-1000e Sは、最先端半導体メーカーからのフィードバックを取り入れ、このような課題を解決するために開発されました。 島津製作所は、50年以上にわたってTOC分析計を提供し、TOC分析計のリーダーとしての地位を確立してきました。島津製作所は、この数十年にわたる専門知識と高度な技術を駆使し、最新の半導体製造プロセスの厳しい要求に応えるために特別に設計された超純水用オンラインTOC分析計TOC-1000e Sをお届けします。 特長 酸化しにくい化合物の優れた検出感度 尿素などの難酸化性化合物を高精度に検出する高い酸化能力 半導体製造では、様々な水源から大量の超純水を製造します。この精製プロセスでは、不純物を可能な限り除去する必要があります。特に、尿素は酸化しにくい性質があるため、除去が困難です。