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Largura: 695 mm
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Comprimento: 600 mm
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Resolução espacial: 630, 530, 460, 575 nm
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Sensofar Metrology
Ampliação : 5, 150, 20, 50, 100 unit
Resolução espacial: 630, 530, 460, 575 nm
Comprimento: 635 mm
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