O Espectrómetro de Emissão de Raios X Suaves (SXES) é um espetrómetro de resolução ultra-alta constituído por uma grelha de difração recentemente desenvolvida e uma câmara CCD de raios X de alta sensibilidade.
Tal como o EDS, é possível a deteção paralela e pode ser efectuada uma análise de resolução de energia ultra-alta de 0,3 eV (borda de Fermi, padrão Al-L), ultrapassando a resolução de energia do WDS.
Descrição do sistema
A nova conceção do sistema ótico do espetrómetro permite a medição simultânea de espectros com diferentes energias, sem mover a grelha de difração ou o detetor (CCD). Com a elevada resolução energética, pode ser efectuado o mapeamento da análise do estado químico.
Comparação de SXES, WDS e EDS
Espectros para nitreto de titânio com vários métodos de espetrometria
No caso do nitreto de titânio, os picos de N-Kα e Ti-Ll estão sobrepostos. Mesmo com WDS, é necessária a deconvolução da forma de onda utilizando um método matemático. Como ilustrado na figura abaixo, existe uma elevada resolução de energia com SXES, permitindo a observação de TiLl.
Exemplo de análise de baterias de iões de lítio (LIB)
O exemplo abaixo mostra mapas de grandes áreas de amostras LIB com diferentes estados de carga. A SXES pode mapear o pico Li-K tanto no estado da banda de valência (esquerda) como no estado fundamental (meio). Um mapa de distribuição de carbono (à direita) também pode ver a função na LIB que está totalmente descarregada.
Exemplo de medição de elementos de luz
Medições de compostos de carbono utilizando SXES
É possível medir as diferenças entre o diamante, a grafite e os polímeros. As diferenças podem ser observadas com os picos adicionais das ligações π e σ. Uma vez que o mapeamento obtém um espetro de cada pixel, podem ser gerados mapas adicionais para desvios de pico de 1 eV e picos de ombro.
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