O Vaporizador Turbo II™ 2852PE da MSP foi concebido para aplicações microelectrónicas de alta precisão que requerem caudais de vapor baixos a médios. Baseado nos Vaporizadores MSP Turbo™ comprovados no terreno, altamente fiáveis e de baixa manutenção, o novo 2852PE fornece concentrações de vapor estáveis, mantendo uma área de ocupação muito pequena. O 2852PE também possui uma válvula de controlo de fluxo integrada para uma resposta extremamente rápida à taxa de fluxo.
Detalhes do produto
Dimensões (AxLxP) - 198 mm x 84 mm x 114 mm (7,8'' x 3,3'' x 4,5'')
Peso - 2,5 kg (5,6 lb)
Conexões (na unidade) -
Entrada de gás do transportador - 1/4 in. Porca fêmea VCR
Entrada de líquido - 1/8 in. VCR fêmea
Saída de Vapor - 1/4 in. Porca fêmea VCR
Ar comprimido - encaixe de tubo instantâneo de 4 mm
Partes molhadas - SS 316, PEEK, Elgiloy®, Níquel
Integridade da fuga - ≤ 1x 10-8 Pa-m3/s Hélio
Requisitos de potência do aquecedor1 - 208 VAC, 60 Hz, 450 W
Gás de transporte - Recomenda-se gás inerte
Fluxo máximo de gás de transporte1 - 2,0 litros padrão/min N2 a 50 psig
Fluxo máximo de líquido2 - 7 g/min (TEOS ou equivalente)
Limite de pressão do sistema - 150 psig
Ar Comprimido - 90 a 110 psig
Faixa de temperatura3 - 40°C a 180°C
Sensor de temperatura - 2 termopares tipo Ƙ
Acessórios - Cabo de alimentação incluído (3 m). AMP CPC, conetor de 4 pinos com 3 cabos de ligação na extremidade oposta
Especificações sujeitas a alterações sem aviso prévio.
1 O caudal máximo do transportador, a potência do aquecedor (W) e a tensão da linha são ajustáveis na fábrica, visite www.tsi.com/contact para solicitar mais informações.
2 O fluxo máximo de líquido depende do processo. A especificação assume uma temperatura do vaporizador de 180°C, fluxo máximo de gás de transporte e pressão <50 Torr imediatamente a jusante do vaporizador.
3 É necessária uma ventilação adequada.
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