DektakXT®スタイラスプロフィロメーターは、4Åの繰り返し精度と最大40%のスキャン速度の向上を可能にする革新的なベンチトップ設計を採用しています。このスタイラスプロファイラの画期的な性能は、50年以上にわたるDektak®の技術革新と業界リーダーシップの集大成です。DektakXTは、業界初の技術を組み合わせることで、究極の性能、使いやすさ、価値を実現し、研究開発から品質管理まで、より優れたプロセスモニタリングを可能にします。DektakXTに組み込まれた技術的ブレークスルーは、マイクロエレクトロニクス、半導体、太陽電池、高輝度LED、医療、材料科学業界にとって重要なナノメートルレベルの表面測定を可能にします。
4オングストローム
繰り返し精度
業界をリードする精度を実現
シングルアーチ
デザイン
画期的なスキャン安定性を実現
セルフアライニング
スタイラス
楽にチップ交換が可能
特徴
データ収集と分析を加速
独自のダイレクトドライブスキャンステージを採用したDektakXTは、業界トップクラスの性能を維持しながら、測定スキャン時間を40%高速化しました。64ビット並列処理ソフトウェアVision64により、3Dファイルの読み込みを高速化し、フィルターやマルチスキャンデータベースの解析を高速化します。
再現性の高い測定を実現
シングルアーチ構造の採用により、DektakXTはより頑丈になり、環境ノイズの影響を最小限に抑えます。DektakXTのアップグレードされた「スマートエレクトロニクス」は、温度変化を低減し、最新のプロセッサを採用することで、誤差を誘発するノイズを最小限に抑え、10nm未満のステップ高さの測定が可能な、より堅牢なシステムとなっています。
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