Dektak XTL™ スタイラスプロフィロメーターは、最大 350mm x 350mm のサンプルに対応し、Dektak® の高い繰返し精度と再現性を大判ウェハーおよびパネル製造にもたらします。Dektak XTLは、空気圧防振構造と、簡単にアクセスできるインターロック式ドアを備えた完全密閉型ワークステーションを備えており、今日の厳しい製造現場環境に最適です。また、デュアルカメラアーキテクチャーにより空間認識能力を高め、高い自動化レベルにより製造スループットを最大化します。
堅牢
自動化セットアップと操作
フィデューシャルと無制限の測定部位をプログラムすることで、スループットを最大化し、エラーを最小限に抑えます。
デュアル
カメラコントロール
測定のセットアップを簡素化し、関心ポイントへのナビゲーションを高速化。
簡単
解析とデータ収集
分析ルーチンを自動化し、複雑なサンプルについて必要な特徴のみをレポートします。
機能
強化されたソフトウェア機能により、Dektak XTL は最もパワフルで使いやすいスタイラスプロファイラとなりました。Vision64 ソフトウェアを使用することで、測定部位の無制限化、3D マッピング、数百の内蔵解析ツールによる高度にカスタマイズされた特性評価が可能になります。Vision Microform ソフトウェアは、曲率半径などの形状も測定します。パターン認識により、オペレーターのエラーを最小限に抑え、測定位置の精度を向上させる。オール・イン・ワンのソフトウェア・パッケージは、データ収集と解析を直感的なワークフローで実現します。
比類のないスタイラス・テクノロジー
Dektak XTLは、50年以上にわたるスタイラスの専門知識と生産設備向けのアプリケーションのカスタマイズを基盤としており、現在および将来の厳しい業界ロードマップに対応します。
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