FIB顕微鏡 NX9000

FIB/SEM実験用研究用

このユニークなシステムでは、Ga-FIBとFE-SEMのカラムが互いに直角になっています。この構成は、大容量の試料（生体組織、大粒径構造を持つ材料、半導体部品など）を、歪みなく、非常に広い視野でも最高の分解能で3D分析するアプリケーションに最適です。3D EBSD分析は、完全に固定された試料、すなわちFIB切断とEBSD層分析の間で試料を移動させることなく実施することもできます。