FIB/SEM顕微鏡 NX2000走査電子FIB実験用
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特徴
- タイプ
- 走査電子, FIB
- 用途
- 実験用, 研究用, 検査用
- 観察法
- SIM
- 構成
- 床置き
- 電子源
- 冷陰極電界放出
- 検出器の特徴
- 反射電子, 2次電子
- 分解能
2.8 nm, 3.5 nm, 4 nm, 60 nm
詳細
NX2000は、半導体アプリケーション（KLARF座標インポートによる欠陥解析、TEMラメラ抽出、デバイス開発）に最適化されたFIB-SEMです。205 x 205 mmのX,Y移動量を持つサンプルステージは、200 mmウェハの全面を回転させることなく処理することも可能です。垂直に取り付けられたGa FIBは、30 kVで最大100 nAのイオン電流が可能です。FE-SEMカラムにはコールドフィールドエミッターが装備されています。
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カタログ
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