ウルトラDI®カウンターは、半導体グレードの超純水システム、ろ過性能の検証、高度なコンタミネーションモニタリングに比類ない精度を提供します。歩留まりを制限するコンタミネーションの早期発見に役立ちます。
製品詳細
最も要求の厳しいUPWアプリケーション向けに設計
最適なプロセス制御のための迅速な対応により、製品のスループットを向上させます。UltraDI水パーティクルカウンターシリーズは、画期的な機能を提供し、UPWモニタリングアプリケーションの標準となります。
比類のない精度と高感度
信頼性の高いプロセスモニタリングのために、20nmまでの粒子を検出します。
トレンドの変化を素早く検出し、コンタミネーションイベントの特定と解決に役立ちます。
低いゼロカウント
ゼロカウントが少なく、計数効率が高いため、すべての測定に信頼性があります。
環境安定性
以下のようなクリーンルームや変動するプロセス条件においても、精度と信頼性を維持します:
熱
湿度
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