レーザー微粒子カウント装置 Chem 20™

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Chem 20™ は、最先端のエレクトロニクス産業で使われる高純度薬液中の不溶性微粒子を常時モニタリングするために開発された、高感度の液中パーティクルカウンタです。超純水用の液中パーティクルカウンタ Ultra DI®シリーズで実績のある光学系構造をさらに進化させることにより、粒径20 mmの微粒子（20nmのPSL粒子、 9nmのAu粒子）の検出が、高純度薬液でも可能になりました。