タイドダイヤフラムバルブ D688 は超高純度ガス供給システム用に設計された高圧インラインバルブです。空気圧アクチュエーターを装備し、抜群の気密性を確保し、最適な性能と安全性を保証します。
主な利点
浸透率の低いソフトシートとメタルシートを組み合わせた設計。
溶接ダイアフラムにより高い気密性を実現
タイダイアフラム設計により、ガス接液量を最小限に抑え、パージが容易。
ガス接液部に可動部品を使用せず、パーティクルを発生させない。
ダイアフラムが破損した場合、ガスがアクチュエータに接触するのを防ぐ二次シール。
リークテストと配管接続用のネジ穴(M4 ネジ)により、リークディテクターとの接続が可能。
フロントパネルとバックパネルのバルブ固定
仕様
国家規格、顧客仕様に基づく接続
使用圧力 200 bar
公称流量 CV = 0.25
温度範囲 -40~+65
シートオリフィスサイズ 4 Mm
マーキング π0029(TPED準拠)、3つ星、バルブ番号、製造年月日、 公称圧力、流れ方向
リーク率 1.10-8 m bar L/s
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