浸透率の低いソフトシートとメタルシートを組み合わせたデザイン。
溶接されたダイアフラムは高い気密性を提供します。
タイダイアフラム設計により、ガス接液量を最小限に抑え、パージが容易。
ガス接液部に可動部品を使用せず、パーティクルを発生させない。
ダイアフラムが破損した場合、ガスがアクチュエータに接触するのを防ぐ二次シール。
リークテストと配管接続用のネジ穴(M4 ネジ)により、リークディテクターとの接続が可能。
フロントパネルとバックパネルのバルブ固定
仕様
接続規格に準拠した溶接接続
使用圧力 200 bar
公称流量 CV = 0.5
温度範囲 -40~+65 °C
リーク率 1.10-8 m bar L/s
シートオリフィスサイズ 6 Mm
マーキング π0029(TPEDに準拠)、バルブ品番、製造年月日、公称圧力および流れ方向、接続 - シート材質、星3つ
リーク率 1.10-8 m bar L/s
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