M20 は HP & UHP アプリケーション用のダイヤフラムバルブです。そのスプリングレス設計はガスの純度を最高レベルに保ちます。M20 は 15 bar までの低圧用です。マルチターンハンドホイールまたは空気圧アクチュエータの 2 種類の操作方法が購入可能です。
主な利点
100%ヘリウムリークテスト実施
幅広い接続に対応するため、3/4 "から1 "までのサイズをご用意
クリーンルームでの組立、テスト、梱包クラスISO 4
完全なトレーサビリティのための個別のシリアル番号
SEMI F19 UHPグレードに準拠した電解研磨表面粗さ
オプションのパージポートによる優れたパージ性
標準オプションの流体別シート材質
交換可能なシート
UHP材料 - Semi F20オプションあり
仕様
最高使用圧力 上表参照
空気圧アクチュエーター開弁圧 5~7 bar
温度範囲 上表参照
流量(cv) 3.5
公称シート径 20 mm (0.79")
バースト圧力 >700 bar (10152 psig)
認定最大ヘリウム漏れ率(最大圧力時)≤ 1 x 10-9 mbar.l/s
認証された最大ヘリウム漏れ率(最大圧力時)≤ 1 x 10-9 mbar.l/s
認定最大ヘリウム船外漏出率 ≤ 1 x 10-9 mbar.l/s
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