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NanoAir™ 10 は、ISOクラス１レベルの厳しい基準で管理される清浄区域、特にウエハ搬送モジュール (EFEM) 内やプロセス装置内の常時モニタリングに適した凝縮型気中パーティクルカウンタです。流量2.8 LPMで測定し、粒径10 nmの微粒子を検出します。 NanoAir 10は従来型の扱いやすさを備えた凝縮型パーティクルカウンタです。独自の凝縮制御機構 (特許出願中) により凝縮液は安定した状態に保たれ、24時間/365日フル稼働しても凝縮液の補充は15か月間必要ありません。年次校正の際に補充すれば、モニタリングの中断は最小限にとどまります。また、凝縮の過程で発塵することがないため、高い精度で測定結果が得られます。 ローカル ...
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Airnet® II/IIs 2チャンネルは、常時モニタリング用の遠隔操作式据置型気中パーティクルカウンタです。耐薬品性にすぐれたポリカーボネート製の筐体を持つAirnet IIシリーズと、腐食に強い316Lステンレス鋼製の筐体を持つAirnet IIsシリーズとがあります。どちらのシリーズにも、装置内部のサンプル流路をテフロン™コーティングしたモデルがあります。 Airnet II/IIs 2チャンネルは、コンパクトな本体にPoE受電機能を実装しており、導入が容易で、特に設置スペースが限られている場合やモニタリングするポイントが多い場合に適した装置です。 通信障害からサンプリングデータを守るバッファリング機能や、流量の変動率が15％に達するとアラームを出力し、レーザーを自動的に停止する機能、レーザーの不良を検知する機能があり、装置とデータの安全性と信頼性を保ちます。 Airnet ...
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Lasair® III 110 は、ISO 14644-1;2015 に準じた清浄度の検証が可能な気中パーティクルカウンタです。流量28.3 LPMで測定し、粒径0.1 μmの微粒子を検出します。 持ち運び可能な本体は、丈夫で耐薬品性の高いステンレス鋼製の筐体で覆われ、保証期間3年の半導体レーザーを搭載しています。タッチスクリーンでメニュー項目をタップることで直感的に操作できます。PCと接続し、WEBブラウザを使ってリモート操作することもできます。 ポータブル用途や据え置き用途、サンプリングチューブを使用したリモートサンプリング、オプションのアクセサリを使用した不活性ガスのサンプリングや多点モニタリングなど、Lasair ...
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Ultra DI 20 Plus は、 超純水のインライン・モニタリングに最適化された光学式液中パーティクルカウンタです。 流量75 ml/minで測定し、 20 nmの微粒子を検出します。 Ultra DI 20 Plus は 装置内部で発生する熱を効率よく外部に放出できるため、 恒温槽を必要としません。冷却機構を設けたことで、 安定した精度の高い測定が可能になりました。 機差が小さく、 低粒子濃度の超純水（10個/mL未満）を複数の Ultra DI 20 ...
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Ultra DI® 50は、最先端のエレクトロニクス産業で使用される超純水のインライン・モニタリングに適した高感度の液中パーティクルカウンタです。超純水中の50 nmの微粒子を検出します。偽計数、単位時間あたりに測定可能なサンプル量、計数効率において優れた性能を有しています。
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Chem 20™ は、最先端のエレクトロニクス産業で使われる高純度薬液中の不溶性微粒子を常時モニタリングするために開発された、高感度の液中パーティクルカウンタです。超純水用の液中パーティクルカウンタ Ultra DI®シリーズで実績のある光学系構造をさらに進化させることにより、粒径20 mmの微粒子（20nmのPSL粒子、 9nmのAu粒子）の検出が、高純度薬液でも可能になりました。
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HSLIS eシリーズは、製造プロセスに使用される純水または薬液のインライン・モニタリング用液中パーティクルカウンタです。複数台を設置する場合や長期の傾向分析を行う場合など、導入コストおよび運用コストが重要視されるモニタリングに適した装置です。 HSLIS-M65eは、純水のモニタリングにも薬液のモニタリングにも使用でき、65 nmの微粒子を検出します。モニタリングを統合管理するソフトウェア Facility Net (オプション) に 接続することで、測定データをリアルタイムに収集、閲覧、分析することが可能です。
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窒素 (N2)、ヘリウム (He)、二酸化炭素 (CO2) といった不活性ガスのみならず、酸素 ( O2)、水素 (H2) などの活性ガスにも対応する気中パーティクルカウンタです。活性ガスもライン圧のままインラインで測定可能です。 ガスの種類に応じて体積流量、粒子径を補正する機能があり、正確な測定結果が得られます。測定結果は専用のデータシステム PDS-E を使用することで、 イーサネットを介して統合モニタリングソフトウェア Facility Net (オプション) ...
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... クリーンルームやフィルターシステムのテストなど、精密な空気品質管理を行うための測定装置。 室内での空気品質検査、空調フィルターの効率検査、浮遊物質の漏れ検査、プロセスエンジニアリングの技術的清浄度の検査などに使用する携帯型環境測定装置です。 PC200は、人間工学に基づいたハンドヘルド型の測定器で、写真とビデオ機能を内蔵しており、ユーザーは空気粒子の監視と環境データの収集を行うことができます。 ISO 21501-4に準拠したPC200は、クリーンルームやフィルター効率のテスト、作業場の負荷監視や品質保証まで、さまざまな測定機能に使用できます。 6つの粒子径チャンネルの測定値は、2.8インチのカラー液晶ディスプレイにすべて同時に表示されます。 また、自動音響アラーム付きのカラーインジケーターディスプレイを追加することで、危険な粒子濃度を簡単にすばやく検出できます。 PC200は、空気粒子のサイズと量分率だけでなく、空気温度、相対湿度、露・湿球温度などの環境要因も検出します。 さらに、デジタルカメラを内蔵し、写真や動画で測定環境を記録することができます。 PC200のデータロギング機能は、内蔵メモリーに最大5,000件の測定記録を保存することができます。MicroSDカードで最大8GBまで拡張することができ、メモリ容量を大幅に増やすことができます。 測定後、検出されたデータはUSBインターフェース経由でPCに転送し、文書化や解析を迅速かつ容易に行うことができます。 ...
... 当社のリモート液体パーティクルカウンターの包括的な製品ラインは、お客様が求める連続モニタリングデータを提供します。当社のリモート液中微粒子カウンターは、お客様のプロセスに供給される純水が常に一定レベルの清浄度を維持していることを確認するのに役立ちます。これらのユニットは、設備監視システムに簡単にセットアップでき、洗浄やメンテナンスも簡単です。 主な特長 0.1～1.0 μmの粒子径範囲 100 mL/分の流量 2チャンネル同時データ 4-20mA出力 ステンレス製エンクロージャー ステータスインジケータ 設備監視システムとのインターフェース コンパクトサイズ 信頼性の高い設計 通信出力オプション 4-20mA出力またはModbus ...
Lighthouse Worldwide Solutions
... 当社のリモート液体パーティクルカウンターの包括的な製品ラインは、お客様が求める連続モニタリングデータを提供します。当社のリモート液中微粒子カウンターは、お客様のプロセスに供給される純水が常に一定レベルの清浄度を維持していることを確認するのに役立ちます。これらのユニットは、設備監視システムに簡単にセットアップでき、洗浄やメンテナンスも簡単です。 主な特長 0.2～2.0 μmの粒子径範囲 100 mL/分の流量 2チャンネル同時データ 4-20mA出力 ステンレス製エンクロージャー ステータスインジケータ 設備監視システムとのインターフェース コンパクトサイズ 信頼性の高い設計 通信出力オプション 4-20mA出力またはModbus ...
Lighthouse Worldwide Solutions
... 当社のリモート液体パーティクルカウンターの包括的な製品ラインは、お客様が求める連続モニタリングデータを提供します。当社のリモート液中微粒子カウンターは、お客様のプロセスに供給される純水が常に一定レベルの清浄度を維持していることを確認するのに役立ちます。これらのユニットは、設備監視システムに簡単にセットアップでき、洗浄やメンテナンスも簡単です。 主な特長 0.3～3.0 μmの粒子径範囲 100 mL/分の流量 2チャンネル同時データ 4-20mA出力 ステンレス製エンクロージャー ステータスインジケータ 設備監視システムとのインターフェース コンパクトサイズ 信頼性の高い設計 通信出力オプション 4-20mA出力またはModbus ...
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... 粒子計測システムSyringe®は、ラボ用に特別に設計されました。システムには、サンプルフィーダーSyringe®、PCインサートカードPCI 1.0、評価ソフトウェア、PCが含まれます。製薬分野向けには、usp評価ソフトウェアSW-CAが用意されています。システムにはレーザーセンサーLDS 23/25 uspが搭載されています。システムはレーザーセンサーLDS 23/25 uspを装備しており、リニア1～50 μmの範囲で動作し、製薬分野での要求を満たすために特別に作られています。 水、飲料、その他のプロセス液のコンタミネーションコントロールには、通常レーザーダイオードセンサーLDS ...
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