O SU8600 marca o início de uma nova era de microscópios eletrónicos de varrimento de emissão de campo frio (CFE-SEM) de ultra-alta resolução na linha de produtos de microscópios eletrónicos de longa data da Hitachi. Esta plataforma revolucionária de CFE-SEM incorpora capacidades de imagem multifacetadas, automatização, maior estabilidade do sistema, fluxos de trabalho eficientes para utilizadores de todos os níveis de experiência e muito mais.
Características
Ótica Eletrónica e Detetores
Tecnologia de Base (Fonte de Eletrões de Emissão de Campo Frio)
Desde que a fonte de eletrões de emissão de campo frio (CFE) foi concretizada em 1972, a Hitachi High Tech tem vindo a aperfeiçoar constantemente esta tecnologia excecional para a imagem eletrónica de alta resolução. Os mais recentes desenvolvimentos no design dos canhões de eletrões proporcionam uma maior estabilidade de irradiação do feixe de eletrões na região de alto brilho. O SU8600 permite a obtenção de imagens com elevada relação sinal/ruído mesmo a baixas tensões de aceleração, podendo também ser utilizado em medições e análises de longo prazo sob condições de irradiação de corrente elevada, rivalizando com outras tecnologias de canhões disponíveis.
Tecnologia de Base (ExB)
É possível detetar eficientemente os eletrões secundários (SE) sem alterar a trajetória dos eletrões primários, através da formação de um campo elétrico e de um campo magnético mutuamente ortogonais (campo ExB) acima da lente objetiva. Esta tecnologia central permite obter imagens com excelente relação sinal-ruído e contraste, mesmo nas condições de corrente de sonda mais baixas, frequentemente utilizadas para a obtenção de imagens de alta resolução.
Tecnologia Central (SuperExB)
O avanço no design para implementar a função de mistura de sinais SuperExB é uma das tecnologias emblemáticas da Hitachi High-Tech. Os eletrões (eletrões secundários, SE, ou eletrões retroespalhados, BSE)
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