検査用カメラ C16741-40U

デジタル1280 x 1024InGaAs

InGaAsカメラC16741-40Uは、400nm～1700nmの可視～近赤外域に感度を持つカメラです。1,280ピクセル×1,024ピクセルの高解像度で、従来のInGaAsカメラに比べてより詳細な画像を撮影することができます。 近赤外観察に適した用途の中でも、特にSi接合ウェハのボイド検出やパターン検査、農産物の傷検査など、低倍率での顕微鏡観察やマクロレンズ観察に適しています。 特長 可視域から近赤外域まで高感度 1280ピクセル×1024ピクセル 冷却による低ノイズと高い安定性 フレームレート71.53フレーム/秒 用途 Siウェハー、チップ、MEMSの内部欠陥検査 IRビームプロファイラなどの光通信デバイスの評価・解析 太陽電池など半導体材料の評価 食品・農産物の検査 水分検出 文化財の観察 仕様 撮像素子 - InGaAsセンサー 有効画素数 - 1280（H）×1024（V） セルサイズ - 5 μm (H) × 5 μm (V) 有効面積 - 6.40 mm (H) × 5.12 mm (V) 読み出し速度 - 71.53フレーム/秒 露光時間-20.46μs～1s（13.09μsステップ） 冷却方式 *1 - ペルチェ素子＋強制空冷 ペルチェ素子＋自然空冷 冷却温度 - ペルチェ素子＋強制空冷 +14.5℃～+15.5℃まで ペルチェ素子＋自然空冷 +19.5 ˚C～+20.5 ˚C *2 外部トリガモード - エッジトリガ、レベルトリガ、スタートトリガ 外部トリガ信号経路 - SMA トリガディレイ機能 - 0 μs～10 s（1 μsステップ）