厚さ測定装置 MPLS-DM series

医療用連続インライン

製品概要
STILのChromaLineセンサーは、クロマチック共焦点技術を用いた非接触のライン測定およびインライン検査向けセンサーです。MPLS-DMは1.34～12.85 mmのライン長にわたり180ポイントを備え、連続稼働に適した低メンテナンス設計です。

製品説明
MPLS-DMは、高解像度の距離および厚さ測定を提供し、測定周波数は標準モードで200 Hz～2 kHz、測定範囲を縮小した場合には最大6 kHzまで対応します。ピーク検出による距離抽出（最初/最後および中間ピーク）や複数ピークからの厚さ算出をサポートします。光学ヘッドは受動部品のみで構成され、工業用途での信頼性を確保しています。

特長

• 金属、ガラス、プラスチック、塗膜、液体など反射物体に対応する汎用の非接触測定
• 受動部品で構成された産業用光学ヘッドによる長寿命設計
• 高スループット：2 kHzで最大360,000ポイント/秒、6 kHz対応の専用用途では100万ポイント/秒以上
• 距離測定およびマルチピーク厚さ測定モード
• 高い軸方向分解能と低ノイズによる微細な面および厚さ管理
• 容易な統合のためのSDKおよびプロトコルコマンド
• 動的プロセス向けのエンコーダ同期取得
• 高速データ転送のためのGigabit Ethernet通信

用途

• 自動車用ガラスの検査
• ガラス容器・包装産業
• 電気自動車（バッテリー）関連測定
• ロールツーロールやフィルム（透明・不透明、フレキシブルエレクトロニクス）の厚さ管理
• 電子機器（PCB）検査
• 半導体（シリコンウェハ）
• コンシューマーエレクトロニクス部品
• 医療部品の検査
• マイクロメカニクス・精密加工
• 航空宇宙分野の表面・組立検査
• 時計製造やマイクロ組立
• 自動化検査のためのロボット統合

ラインナップ
ChromaLineは標準で5つのMPLS-DMバリエーションを用意：NANOVIEW、MicroView、WireView、DeepView mk2、SuperView。それぞれライン長と測定範囲に最適化されています。

技術仕様（コントローラ／一般）
コントローラ：MPLS-DM
技術：Chromatic Confocal（クロマチック共焦点）
光源：白色LED
ポイント数：180
測定周波数：200 Hz～2000 Hz（測定範囲縮小で最大6000 Hz）
距離測定：Highest／First／Second／Third／Fourth／Last Peak
厚さ測定：5ピーク中2ピーク
デジタル出力：Gigabit Ethernet
同期：トリガー入出力
その他I/O：エンコーダ入力（1）
ファイバーバンドル長：5 m
使用温度：5 °C～50 °C
保管温度：-30 °C～70 °C
相対湿度：5%～80% RH（結露なきこと）
保護等級：IP20
適合規格：EN 61010-1；EN 61326-1
電源：100–240 Vac
消費電力（最大/通常）：120 W / 70 W
外形寸法（mm）：448.9 x 184 x 497
重量：14.5 kg

技術仕様（センサーバリエーション 比較値）
モデル／MPLS-DM（NANOVIEW / WIREVIEW / MICROVIEW / DEEPVIEW mk2 / SUPERVIEW）— 発注コード：OPSTM705002（NANOVIEW）、OPSTM710002（WIREVIEW）、OPSTM706002（MICROVIEW）、OPST0707002（DEEPVIEW mk2）、OPSTM711001（SUPERVIEW）。
ライン長 (mm)：1.34 / 1.51 / 1.8 / 4.2 / 12.85
測定範囲 @2 kHz (mm)：0.12 / 0.9 / 0.5 / 2.6 / 2
作動距離 (mm)：7.4 / 7.8 / 10.1 / 19.5 / 11.3
開口数：0.75 / 0.75 / 0.5 / 0.37 / 0.33
最大サンプル傾斜(°)：±43 / ±46 / ±30 / ±20 / ±17
ピッチ (µm)：7.5 / 8.5 / 10.1 / 23.5 / 71.8
最大直線性誤差 (µm)：±0.04 / ±0.1 / ±0.08 / ±0.12 / ±0.12
静的ノイズ (nm)：25 / 150 / 100 / 300 / 300
軸分解能 (µm)：0.15 / 0.9 / 0.6 / 1.8 / 1.8
スポット径 (µm)：2.9 / 3.2 / 3.8 / 8.8 / 27.2
均一性 (nm)：30 / 200 / 125 / 400 / 400
最小測定厚さ (µm)：18 / 110 / 50 / 250 / 300
長さ／直径／重量 (mm / mm / g)：NANOVIEW 436.1 / 50 / 2350 ; WIREVIEW 482.5 / 70 / 2850 ; MICROVIEW 427.3 / 50 / 2250 ; DEEPVIEW mk2 428.3 / 60 / 2800 ; SUPERVIEW 397.8 / 60 / 2550
測定範囲 @4 kHz (mm)：0.055* / 0.45* / 0.235* / 1.15* / 0.9*
測定範囲 @6 kHz (mm)：0.030* / 0.24* / 0.12* / 0.65* / 0.5*
* 予備値