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Hitachiの透過型電子顕微鏡顕微鏡
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倍率 : 3,000,000 unit
分解能: 0.8, 1.2, 0.4 nm
コールドFE電子源は、他の電子源と比べて光源径やエネルギー幅が小さいので、高分解能観察に適しています。さらに高輝度かつ安定性な新型コールドFE電子銃を搭載したSU9000IIは高分解能観察のみならず、高品質な元素分析が可能です。それらの性能を発揮したデータを安定して取得できるよう、光学系の自動調整機能やデータ取得自動化を支援するオプション機能を搭載し、大量データの自動取得を可能にしました。 また、インレンズ形対物レンズを備えたSU9000IIは、EELSの測定が可能です。 SU9000II ...

倍率 : 20 unit - 8,000,000 unit
分解能: 0.08, 0.1 nm
... 。 走査透過電子顕微鏡「HD-2700」搭載の日立製球面収差補正器や、その自動補正機能、収差補正SEM像やシンメトリーDual SDDなどの特長を受け継ぐとともに、透過電子顕微鏡HFシリーズで培ってきた技術を結集・融合しました。 ...

倍率 : 1,000,000, 800,000, 600,000 unit
分解能: 0.19, 0.14, 0.2 nm
透過電子顕微鏡(以下、TEM:Transmission electron microscope)は、医学・生物学分野での研究・診断から食品・高分子・化学・ナノ材料の研究・開発まで、幅広い分野で活用されており、微細構造の形態観察に必要不可欠なツールとなっている。今回、様々な分野に対応するため、120 kV透過電子顕微鏡(TEM)HT7800シリーズを開発した。 本シリーズでは、高コントラストを極めたレンズを搭載し、広視野高コントラスト観察を実現するHT7800と、クラス最高レベルの分解能をもつ ...

分解能: 4, 60, 0.7, 50, 1.5 nm
「Ethos」は、日立ハイテクのコア技術である高輝度冷陰極電界放出型電子銃と新開発の電磁界重畳型レンズにより、低加速電圧での高分解能観察を可能とし、リアルタイムFIB加工観察と両立しました。 さらに、SEMカラム内に3つの検出器を搭載することで、二次電子による形状コントラストや反射電子による組成コントラストを同時観察でき、ナノメータースケールの構造物を見逃すことなく観察・解析し、特定箇所を正確に捉えたFIB加工を可能としています。 また新設計の大容量試料室には、EDS*1やEBSD*2 ...
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