レーザー封じ込め用に設計された制御雰囲気のグローブボックスで、ステンレス製構造とプロセスガス制御、空気ろ過、乾燥のための統合装置を備え、機械的・環境的に敏感な工程に対応します。
主な特徴:- アクセスおよび保守用の着脱式パネルを備えたステンレス製フレーム。
- 操作用のフランジとグローブ、レーザー保護ガラスを備えた前面壁;物品搬送用のインターロック付き二重扉式エアロック(SAS)。
- 内部雰囲気を管理する自動プロセスガス調整システム。
- 入口および出口にH14絶対ろ過フィルターと活性炭フィルターを備えた排気ユニットによる空気処理。
- 内部環境を保護する本質安全型の過圧弁。
- 背面壁に配置された流体貫通およびケーブルモジュール用フレーム。
- 前面扉左上に配置された電気ロックと、運用管理用の角度調整可能な操作パネル。
- 圧縮空気用減圧ユニットを備えた空気式パネル。
- Iteco DR4乾燥システムの統合、酸素アナライザ、露点計による湿度および雰囲気組成の監視。
仕様 / 技術データ:- グローブボックス寸法(mm):1500 x 1750 x 2000 H。
- SAS寸法(mm):204 x 204 x 380 L。
- 参考質量:約900 kg。
- 構造材質:ステンレス。
- 空気ろ過:H14絶対フィルターおよび活性炭フィルター(入口および出口)。
- 安全装置:二重扉インターロック式SAS、本質安全型過圧弁、前面扉の電気ロック。
- 制御・監視システム:自動プロセスガス調整、角度調整可能な操作パネル、減圧付き空気式パネル、酸素アナライザ、露点計。
- アクセサリ・設置準備:流体貫通、ケーブルモジュール用フレーム(背面壁に16モジュール想定)、統合Iteco DR4乾燥システム。