プラズマ表面コーティング装置 EM ACE200

低圧プラズマ自動実験用

製品説明
Leica EM ACE200 コーティングシステムは、SEMおよびTEM解析向けに均一で導電性のある金属または炭素コーティングを作製します。スパッタコーターまたはカーボンフィラメント蒸着コーターとして構成可能で、完全自動化されたシステムにより高い再現性のある結果を得られます。両方式が1台で必要な場合は、交換可能なヘッドを備えた複合機も用意されています。

主な機能
スパッタコーティングおよび／またはカーボンフィラメント蒸着に対応；再現性の高い結果を得るための全自動動作；石英晶体測定、プラネタリー回転、グローディスチャージ、交換可能なシールドのオプション。

主な特長

• 高い再現性：自動プロセス実行とパラメータ設定支援
• コンパクト：設置面積が小さく研究室のスペースを節約
• 簡単な清掃：取り外し可能なドア、シャッター、内部シールド、ターゲット、ステージ
• 簡単操作：直感的なタッチスクリーンとワンボタン操作

使用目的
研究用のみ

技術仕様

• 型式：EM ACE200
• メーカー：Leica Microsystems
• 製品種別：低真空コーター／SEMおよびTEM試料準備用真空コーター
• 構成：スパッタコーター；カーボンフィラメント蒸着コーター；交換可能なヘッドを備えた複合機
• オプション：石英晶体測定；プラネタリー回転；グローディスチャージ；交換可能なシールド
• 自動化：パラメータ設定支援を備えたフルオートシステム
• 操作：直感的なタッチスクリーン、ワンボタン操作
• 保守：簡単な清掃を考慮した設計（取り外し可能なドア、シャッター、内部シールド、ターゲット、ステージ）
• 設計：研究室スペースを節約するコンパクト設計
• SKU／内部コード：em-ace200