HITACHIの実験用顕微鏡

倍率 : 20 unit - 2,000,000 unit
分解能: 0.9, 0.6 nm

FE-SEMの観察や分析では対象や目的に応じて観察条件を変更し、その度に電子光学系条件を調整する作業が生じます。調整に要する時間はユーザーの熟練度によって異なり、このことがデータの質やスループットのばらつきを生じさせる一因になっています。SU8600/SU8700には、電子光学系の調整作業を自動化する機能が搭載され、安定した光学条件維持を可能にしています。 ワークフローに応じた自動データ取得レシピ作成支援オプション「EM Flow Creator」を搭載 装置の性能向上に伴い求められるデータの種類や量も増大している中、多種多量のデータを手動で取得することもユーザーの負担を増大させています。SU8600/SU8700にはレシピ作成を可能にするオプション「EM ...

倍率 : 6, 8,000,000 unit
分解能: 15, 4 nm

... 1000 IIは、新設計の電子光学系と高感度検出器により、加速電圧20 kVで像分解能 4.0 nmを実現しています。新開発のユーザーインターフェースは、明るさやフォーカスの自動調整機能の高速化により、短時間で多彩な観察を可能にします。また、電子顕微鏡の欠点であった視野探しの困難さを容易にする新ナビゲーション機能「SEM MAP」を搭載し直観的な視野移動を実現しています。 卓上設置可能なコンパクトサイズ*1でありながら、分解能4.0 ...

倍率 : 10 unit - 250,000 unit
長さ: 617 mm

もっと、高画質に、もっと使いやすく、見やすくをコンセプトに開発したTM4000シリーズはさらに機能を拡張したTM4000Ⅱシリーズを発売。 新たな観察・分析アプリケーションをご提供します。 中小企業等経営強化法に基づく支援措置の対象製品（生産性向上設備（A類型））です。 Camera Navi*を使えば、こんなに簡単 カメラナビ画像で迷わず視野探し、MAP機能で観察をサポート 基本操作はこんなに簡単・スピーディ 画像観察までわずか3分。 目的のデータを素早く取得し、レポート作成が可能。 Report ...

倍率 : 20 unit - 8,000,000 unit
分解能: 0.08, 0.1 nm

... 走査透過電子顕微鏡｢HD-2700｣搭載の日立製球面収差補正器や、その自動補正機能、収差補正SEM像やシンメトリーDual SDDなどの特長を受け継ぐとともに、透過電子顕微鏡HFシリーズで培ってきた技術を結集・融合しました。 ハイエンドユーザーをはじめ幅広いユーザー向けに、サブÅレベルの空間分解能と高分析性能を、より多様な観察・分析手法とともにご提供します。 0.078 nmのSTEM空間分解能や、高試料傾斜・大立体角EDXを、シングルポールピースで実現しました。 走査透過電子顕微鏡｢HD-2700 ...

倍率 : 1,000,000, 800,000, 600,000 unit
分解能: 0.19, 0.14, 0.2 nm

透過電子顕微鏡（以下、TEM：Transmission electron microscope）は、医学・生物学分野での研究・診断から食品・高分子・化学・ナノ材料の研究・開発まで、幅広い分野で活用されており、微細構造の形態観察に必要不可欠なツールとなっている。今回、様々な分野に対応するため、120 kV透過電子顕微鏡（TEM）HT7800シリーズを開発した。 本シリーズでは、高コントラストを極めたレンズを搭載し、広視野高コントラスト観察を実現するHT7800と、クラス最高レベルの分解能をもつ ...

倍率 : 5 unit - 600,000 unit
分解能: 0.9, 2.5 nm

... 日立のSU3800SEおよびSU3900SE SEMは、さまざまなアプリケーションに対応する汎用性の高いイメージングおよび分析ソリューションを提供します。これらの装置は、高解像度イメージング、直感的なナビゲーション、高度な自動化を提供し、研究および産業環境において信頼性の高い一貫した結果をもたらします。その柔軟性は、標準的な試料から大規模な工業用試料まで、効率的なワークフローをサポートし、生産性と再現性を高めます。 主な特長 柔軟なサンプルハンドリング - SU3900SE：直径300mm、高さ130mm、重量5kgまでの大型試料に対応。頑丈なユーセントリック5軸ステージにより、自動車部品のような工業用素材をリサイズすることなくイメージングでき、時間と労力を節約。自動検査用に複数のサンプルに対応。 - ...

倍率 : 0 unit
分解能: 4, 60 nm

... NX5000 "ETHOS "FIB-SEMプラットフォームは、収差補正TEM/STEM用の超微細TEMラメラの自動作製、連続サンプル切片の高分解能マルチシグナルSEM検査、およびファブリケーション・アプリケーションの分野における高度な位置精度のアプリケーションを対象としています。 製品の特徴 - 高分解能FE-SEM、コールドまたはショットキー電界エミッタ、デュアル静電・磁気対物レンズ：高分解能イメージング用磁場浸漬モード、FIB同時操作用磁場なしモード - ...

分解能: 1.6, 2.1, 4 nm

... このユニークなシステムでは、Ga-FIBとFE-SEMのカラムが互いに直角になっています。この構成は、大容量の試料（生体組織、大粒径構造を持つ材料、半導体部品など）を、歪みなく、非常に広い視野でも最高の分解能で3D分析するアプリケーションに最適です。3D EBSD分析は、完全に固定された試料、すなわちFIB切断とEBSD層分析の間で試料を移動させることなく実施することもできます。 ...

分解能: 2.8, 60, 4, 3.5 nm

... NX2000は、半導体アプリケーション（KLARF座標インポートによる欠陥解析、TEMラメラ抽出、デバイス開発）に最適化されたFIB-SEMです。205 x 205 mmのX,Y移動量を持つサンプルステージは、200 mmウェハの全面を回転させることなく処理することも可能です。垂直に取り付けられたGa FIBは、30 kVで最大100 nAのイオン電流が可能です。FE-SEMカラムにはコールドフィールドエミッターが装備されています。 ...