プロフィロメータ

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光学プロフィロメータ
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Micro.View®

TopMap Micro.View は、操作性に優れたコンパクトな光学式形状測定器です。強力な計測ソリューションは、卓越した機能および優れたコストパフォーマンスを持っています。 100 ミリメートルの z 方向測定レンジを持つ Continuous Scanning Technology(CST) は、複雑な形状をナノメートルの分解能で測定することを可能にします。この便利な卓上型のセットアップは、測定を容易にして、かつ高速化する高性能のフォーカスファインダを含むエレクトロニクスを持っていることを特徴としています。 コンパクトなセットアップで表面を測定 三次元形状、粗さ、および表面詳細の非接触測定 CST ...

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Micro.View®+

TopMap Micro.View +は、次世代の光学式形状測定器です。この総合的なワークステーションは、モジュール方式のデザインによって、それぞれのアプリケーションの要求に合わせた特有の構成を可能にします。Micro.View +は、表面粗さ、表面の詳細、および微細構造の形状測定について、詳細な分析を提供します。3D データをカラー情報と組み合わせて、欠陥を詳細に記録するなどの見事な視覚化や広範囲の分析を実現します。高解像度カメラは、非常に詳細な設計表面の 3D ...

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TopMap Pro.Surf

TopMap Pro.Surfは、迅速かつ正確に高精度で形状偏差を測定します。 TopMap Pro.Surf はハイエンド ソリューションであり、精密製品の表面を測定するために最適です。 再現性が高いため、計測チャンバや生産ラインにおいても測定できます。TopMap Pro.Surfは優れた空間分解能と、テレセントリックレンズを有するため、あらゆるアプリケーションにおいて、平坦度、段差、平行度などのパラメータを正確に測定できます 概要 迅速かつ正確な3D表面特性評価 非接触測定とトレーサブルな測定結果 反射特性の異なる面もフィルタを使用して測定可能 最大測定範囲230 ...

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TopMap Pro.Surf+

TopMap Pro.Surf はハイエンド・ソリューションであり、粗さ測定センサを搭載することによりオールインワンシステム TopMap Pro.Surf +としてアップグレードされました。TopMap Pro.Surf +は単一パスで形状偏差と粗さを迅速かつ正確に測定可能です。再現性が高いため、計測チャンバや生産ラインにおいても測定できます。 Pro.Surf +はすばやく簡単に精密製品の表面を測定できるが理想的なシステムです。 概要 迅速かつ正確な3D表面特性評価と粗さ測定 オールンワンシステムは、重要な表面情報を一切見落としません 非接触測定とトレーサブルな測定結果 反射特性の異なる面もフィルタを使用して測定可能 最大測定範囲230 ...

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TopMap Metro.Lab

ポリテックのMetro.Labは、深い測定深度とナノメートル分解能を有する高精度な白色光干渉計(コヒーレンス走査干渉計)です。柔らかく繊細な材料の、広い範囲における平坦度、段差、平行度の非接触測定に最適です。 Metro.Labの測定深度は最大70 mmであり、測定が困難と思われる場合も、サブナノメートル分解能での測定を実現します。 Metro.Labは研究室でも生産工程でも使用できます。また接触式測定システムを使用して実行していた測定案件にも、使用できます。さらに他のTopMapシステムと同様に、オープン ...

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Dektak XT

... DektakXT® スタイラスプロファイラは、革新的なベンチトップデザインを採用し、比類のない 4Å の再現性と最大 40% のスキャン速度の向上を実現しています。スタイラスプロファイラの性能におけるこの重要なマイルストーンは、50 年以上にわたる Dektak® の革新と業界のリーダーシップの集大成です。DektakXTは、業界初の組み合わせにより、究極の性能、使いやすさ、価値を実現し、R&DからQCまでのプロセスモニタリングを可能にします。DektakXTに搭載された技術的なブレークスルーは、マイクロエレクトロニクス、半導体、太陽電池、高輝度LED、医療、材料科学などの業界で、重要なナノメートルレベルの表面測定を可能にします。 再現性 業界最高レベルの精度を実現します。 シングルアーチ デザイン 画期的なスキャン安定性を実現。 スタイラス チップの交換を容易にします。 DektakXTは、独自のダイレクトドライブ・スキャンステージを活用することで、業界最高レベルの性能を維持しながら、測定スキャン時間を40%加速します。ブルカーの64ビット並列処理演算・解析ソフトウェア「Vision64」は、3Dファイルの読み込みを高速化し、フィルターやマルチスキャンデータベース解析の適用を高速化します。 Dektakのオールインワンスタイラスセンサーは、大きな垂直レンジと低フォースのスキャンを同時に実現します。 シングルアーチ構造を採用することで、DektakXTはより頑丈になり、環境ノイズの影響を最小限に抑えることができます。DektakXTのアップグレードされた「スマートエレクトロニクス」は、温度変化を抑え、エラーを引き起こすノイズを最小限に抑える最新のプロセッサーを採用しており、10nm以下のステップハイトを測定することが可能な、より堅牢なシステムとなっています。 ...

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Dektak XTL™

... スタイラスプロファイラ 300mmの最適なパフォーマンスを実現するゲージ対応のQA/QCプロファイラ Dektak XTL™ スタイラスプロファイロメーターは、最大 350mm x 350mm のサンプルに対応し、伝説的な Dektak® の繰り返し精度と再現性を大判のウェハやパネルの製造にもたらします。Dektak XTLは、空気式防振装置と、簡単にアクセスできるインターロックドアを備えた完全密閉型のワークステーションを備えており、今日の厳しい製造現場の環境に最適です。また、デュアルカメラを採用することで空間認識能力を高め、高度な自動化を実現することで、製造スループットを最大化しています。 堅牢な 自動化のセットアップと操作 プログラムフィデューシャルと無制限の測定サイトにより、スループットを最大化し、エラーを最小限に抑えることができます。 デュアル カメラコントロール 測定のセットアップを簡素化し、関心のあるポイントへのナビゲーションを迅速に行うことができます。 簡単な 分析とデータ収集 複雑なサンプルの分析ルーチンを自動化し、必要な機能のみをレポートします。 強化されたソフトウェア機能により、Dektak ...

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ContourX-100

... 粗さ測定用ベンチトップの合理化と低価格化 ContourX-100光学式表面形状測定装置は、高精度で再現性のある非接触表面形状測定の新しい基準を、クラス最高の価格で提供します。スモールフットプリントのこのシステムは、ブルカー独自の白色光干渉法(WLI)の技術革新を取り入れた合理的なパッケージで、妥協のない2次元/3次元の高分解能測定機能を提供します。また、新しい測定モードであるUSIは、精密加工された表面、厚膜、トライボロジーなどのアプリケーションにおいて、より便利で柔軟な測定を可能にします。ContourX-100以上の価値を持つベンチトップシステムは他にはありません。 業界最高水準の Z分解能 倍率に関係なく、常に高精度な測定が可能です。 比類のない 計測の価値 測定機能を損なうことなく、合理的な設計を実現します。 使いやすい ソフトウェアインターフェース 豊富に用意されたフィルターや分析機能を直感的に操作できます。 卓越した計測技術 WLIは、あらゆる目的のために一定の究極の垂直解像度を提供します。 ContourX-100プロファイラは、40年以上にわたる独自の光学技術の革新と、非接触表面計測、特性評価、およびイメージングにおける業界のリーダーシップの集大成です。このシステムは、3D ...

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ContourX-500

... ContourX-500光学式表面形状測定装置は、高速で非接触の3次元表面形状測定を可能にする、世界で最も包括的なベンチトップ型自動測定システムです。ゲージ対応のContourX-500は、卓越したZ軸の分解能と精度を誇り、ブルカーの白色光干渉計(WLI)のフロアスタンド型モデルの利点をすべて備えていますが、設置面積ははるかに小さくなっています。このプロファイラは、精密加工された表面や半導体プロセスのQA/QC計測から、眼科やMEMSデバイスの研究開発における特性評価まで、幅広い複雑なアプリケーションのために簡単にカスタマイズすることができます。 チップ/チルト 光学ヘッド トラッキングエラーを最小限に抑えながら、さまざまな角度で表面形状を測定します。 最先端の ユーザーインターフェース あらかじめプログラムされた豊富なフィルタや分析機能に直感的にアクセスできます。 統合された エアアイソレーション 省スペースで最高の計測精度を実現。 卓越したベンチトップ・メトロロジーのためのデザイン ブルカー独自のティップ/チルト機能を搭載した顕微鏡ヘッドは、生産現場でのセットアップや検査において、比類のない柔軟性を提供します。顕微鏡ヘッドの光路にチップ/チルト機能を組み合わせることで、ブルカーは検査ポイントをチルトとは無関係に視線に結合します。これにより、オペレーターの介入が少なくなり、最大限の再現性を得ることができます。その他のハードウェアの特徴としては、革新的なステージデザインにより、より大きなスティッチング能力を実現し、1200x1000の測定アレイを備えた5MPカメラにより、低ノイズ、広い視野、高い横方向の解像度を実現しています。 ...

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ContourGT-X

... ContourGT-X 3D光学式プロファイラは、実験室での研究や生産工程の管理において、最高性能の非接触表面測定を実現します。10世代にわたる白色光干渉法(WLI)の技術革新と設計を取り入れたこの計測システムは、業界最大の視野で最高の垂直解像度を実現しています。主な機能としては、全自動化、プロダクションインターフェース、大型電動XYZステージ、チップ/チルトインヘッド、一体型エアアイソレーションテーブルなどがあります。研究開発、品質保証、プロセスの品質管理など、様々なニーズに対応するために一から設計されたContourGT-Xは、究極のゲージ対応3D光学精度と堅牢性を備えています。 研究開発および生産のためのゲージ対応自動計測システム 完全な 自動化 ナノメートルスケールの測定を迅速かつ簡単に行うことができます。 カスタマイズ可能な プロダクションインターフェース 合理化されたプロセスワークフロー、自動マッピング、負荷測定レシピを提供。 自己校正機能 レーザーリファレンス 最高の測定精度、再現性、堅牢性を実現します。 ContourGT-Xは、ブルカーの特許技術であるチップ/チルトヘッド、特許技術である自己校正機能付きレーザーリファレンス、統合されたパターン認識、その他多くの独自の干渉計測技術を搭載し、高スループットで非常に正確な表面計測を実現します。このシステムは、自動化に対応した構成になっており、X、Y、Zのウェハ配置精度を向上させるエアテーブルスタビライザーキット、PDU、EMO、真空システム、オートローダーのエンドエフェクターに対応した改良型真空チャックなど、ほとんどの生産環境で迅速な最適化を実現します。 ...

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NPFLEX™

... アイソレーションと大型ガントリーを備えた最もフレキシブルなプロファイラー NPFLEX 3D Metrology Systemは、整形外科用の医療インプラントや、航空宇宙、自動車、精密加工業界の大型部品などの大型サンプルに対して、最も柔軟な非接触式3D面状表面特性評価を提供します。接触式の計測器では不可能なデータ密度、解像度、再現性を提供し、補完的な技術としても、独立した計測ソリューションとしても理想的です。 設定可能な ハードウェアとソフトウェア ほとんどすべてのサンプル、形状、サイズの測定ニーズに対応します。 頑丈な アーキテクチャ 製造現場の過酷な環境に対応 自動化された 測定ルーチンの自動化 生産現場での計測や解析結果をスピードアップ。 NPFLEXは、サンプルにダメージを与えることなく、様々なサイズや形状のサンプルを調査するために特別に設計されています。このシステムのWLIテクノロジーは、材料の種類を問わず、ほぼすべての表面形状を3次元で非接触測定します。画期的なオープンガントリーのデザインにより、これまでアクセスできなかった表面や、サイズや部品の向きによって分析が困難だった表面にも、300度以上のアクセスが可能です。また、対物レンズの下には330mmのスペースがあり、他のタイプのプロファイロメータでは到達できなかった部分にも簡単にアクセスできます。 カスタマイズされた構成 NPFLEXシステムには、特定のアプリケーションのために操作をカスタマイズするための多くのオプションが用意されています。スイベルヘッドオプションは、側壁、ベベルエッジ、および角度のある表面を繰り返し調査することができます。また、いくつかのステージオプションも用意されています。 ...

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S wide

S wideは、最大300×300mmの大面積サンプルでも素早く計測できる測定システムです。デジタルマイクロスコープと高分解能形状測定装置両方の長所を兼ね備え、ボタンひとつでデータを取得できる非常に使い易いデザインになっています。 ソリューション ワンショット 光学式3D形状測定システム 高度な製造・加工 考古学・古生物学研究 大衆消費電化製品(CE) 医療機器 モールディング 光学 時計

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S neox

新しい S neox は、性能、機能、効 率、デザインの全ての面で既存の 光学3Dプロファイリング顕微鏡を 凌駕する、クラス最高の面形状計 測システムです。 さらに速く スマートでユニークな新しいアル ゴリズムとカメラにより、全てをさ らに速く実行できます。データ取 得速度は 180fps で、標準測定 時間は5倍も短縮されました。新 しいS neoxは市場で最速の面形 状測定システムです。

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S neox Five Axis

完璧なアクセシビリティ S neox Five Axis 光学式3次元測定装置は、高精度回転ステージモジュールと、S neox 3D測定顕微鏡の高度な検査および解析機能を組み合わせています。これにより、指定された位置・角度で自動的に3D表面形状測定を行い、完全な3D形状計測が可能になります。 測定原理 幅広いスケールをカバー S neoxの3D測定技術は、形状(Ai焦点移動)、サブナノメーター粗さ(干渉計)、高い水平方向および垂直方向の解像度を必要とする寸法精度(共焦点)測定まで広範囲のスケールをカバーします。 測定原理 最高の多機能性 S ...

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S lynx

コンパクトフレキシブルパワフル S lynxは、産業および研究用に開発された非接触3D表面プロファイラの新製品です。多用途のコンパクトなシステムとして開発されました。S lynxは様々な表面スケールの異なる表面性状、構造、粗さ、うねりを測定できます。S lynxの多用途性により、幅広い範囲の高品質な表面測定に使用できます。Sensofar独自の3-in-1測定技術により理想的な性能が保証されています。また、関連するSensoSCANソフトウェアにより驚くほど直感的に使用でき、さらに高い性能を補完しています。 用途 自動車 民生品のエレクトロニクス エネルギー LCD 材料科学 マイクロエレクトロニクス マイクロマニュファクチャリング 微古生物学 光学 機械工具 半導体 時計製造

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