反射電子顕微鏡

倍率 : 20 unit - 2,000,000 unit
分解能: 0.9, 0.6 nm

... FE-SEMの観察や分析では対象や目的に応じて観察条件を変更し、その度に電子光学系条件を調整する作業が生じます。調整に要する時間はユーザーの熟練度によって異なり、このことがデータの質やスループットのばらつきを生じさせる一因になっています。SU8600/SU8700には、電子光学系の調整作業を自動化する機能が搭載され、安定した光学条件維持を可能にしています。 ワークフローに応じた自動データ取得レシピ作成支援オプション「EM Flow Creator」を搭載 装置の性能向上に伴い求められるデータの種類や量も増大している中、多種多量のデータを手動で取得することもユーザーの負担を増大させています。SU8600/SU8700にはレシピ作成を可能にするオプション「EM ...

倍率 : 20 unit - 2,000,000 unit
分解能: 0.7, 0.6 nm

... FE-SEMは、得られる画像の分解能が高く、またその情報の豊富さや試料の取り扱いが比較的簡便なことから、ナノテクノロジー、半導体・エレクトロニクス、ライフサイエンス、材料などの幅広い分野において、微細構造の観察から計測、分析まで多岐にわたって活用されています。近年のマテリアルズ・インテグレーションをはじめとしたその活用分野・用途の広がりに伴い、大量データの短時間取得やそれに要する負荷の低減が求められています。 こうしたニーズに応え、2021年12月に発売したSU8600/SU8700では日立ハイテクがこれまで培ってきた高分解能FE-SEMとしての性能に加えて、大量データ取得を支援する自動化機能を強化しています。 今後、多くのデータを必要とするデータ駆動型研究開発の進展が予想される中、本製品群により大量データの短時間取得やユーザーの負荷低減を支援します。 電子光学系の自動調整機能を搭載 FE-SEMの観察や分析では対象や目的に応じて観察条件を変更し、その度に電子光学系条件を調整する作業が生じます。調整に要する時間はユーザーの熟練度によって異なり、このことがデータの質やスループットのばらつきを生じさせる一因になっています。SU8600/SU8700には、電子光学系の調整作業を自動化する機能が搭載され、安定した光学条件維持を可能にしています。 ワークフローに応じた自動データ取得レシピ作成支援オプション「EM ...

倍率 : 20 unit - 2,000,000 unit
分解能: 0.8, 0.9 nm

... 低加速電圧での高い像質、複数信号同時取得などに加え、広域視野観察、In-Situ観察など現在のFE-SEMでは高い能力と多くの機能が要求されています。 SU7000は多様化するニーズにおいて情報最大化を目ざして創られた、「新しいSEM」です。 SU7000がもたらす世界を体感してください。 * 装置写真はオプション付属の状態です 中小企業等経営強化法に基づく支援措置の対象製品（生産性向上設備（A類型））です。 キーコンセプト 1.多彩なイメージング能力 広視野全体像から表面微細構造まで、SU7000は多様な信号の迅速取得を目ざして設計されました。 複数の二次電子信号・反射電子信号が同時に取得できるようにデザインされた電子光学系/検出系はより短い時間で多くの情報をユーザーにもたらします。 2.マルチチャンネルイメージング イメージングニーズの増加に伴い、装着される検出器の数も増加していますが、表示もそれに見合う機能が必要です。 SU7000では最多6チャンネルでの信号同時表示/保存が可能です。 取得情報の最大化を強力にアシストします。 3.多様な試料形状・観察手法に対応 大型試料観察 低真空観察 クライオ観察 その場観察 などに対応するための試料室や真空系を備え、多様な観察手法に応えます。 4.マイクロアナリシス ショットキーエミッター搭載の電子銃による最大200nAの照射電流は余裕を持って各種マイクロアナリシスに対応します。 EDXをはじめとしたX ...

倍率 : 5 unit - 800,000 unit
分解能: 15, 4, 3 nm

... 日立ハイテクの走査電子顕微鏡 SU3800/SU3900は、操作性と拡張性を両立させました。 数々の操作もオート化し、高性能を効率的に活用することができます。 多目的大型試料室を搭載し、In-Situ解析にも対応しました。 中小企業等経営強化法に基づく支援措置の対象製品（生産性向上設備（A類型））です ①大型試料に対応 ■大型/重量試料対応ステージ リスクを低減する試料交換シーケンス スループットを向上する試料交換室 自由度を高める、ステージ移動制限解除機能* ステージ移動の安全性を高める、チャンバスコープ* ■可動範囲を全域サポート、大型試料の全域観察を実現したSEM ...

倍率 : 6, 8,000,000 unit
分解能: 15, 4 nm

... 「先進のSEMをよりコンパクトに」 わずか45 cm幅のコンパクト設計ながら、4.0 nmの像分解能を実現。 新開発のユーザーインターフェース、電子光学系が高性能をさらに身近にします。 中小企業等経営強化法に基づく支援措置の対象製品（生産性向上設備（A類型））です。 特長 FlexSEM 1000 IIは、新設計の電子光学系と高感度検出器により、加速電圧20 kVで像分解能 4.0 nmを実現しています。新開発のユーザーインターフェースは、明るさやフォーカスの自動調整機能の高速化により、短時間で多彩な観察を可能にします。また、電子顕微鏡の欠点であった視野探しの困難さを容易にする新ナビゲーション機能「SEM ...

倍率 : 10 unit - 250,000 unit
長さ: 617 mm

... もっと、高画質に、もっと使いやすく、見やすくをコンセプトに開発したTM4000シリーズはさらに機能を拡張したTM4000Ⅱシリーズを発売。 新たな観察・分析アプリケーションをご提供します。 中小企業等経営強化法に基づく支援措置の対象製品（生産性向上設備（A類型））です。 Camera Navi*を使えば、こんなに簡単 カメラナビ画像で迷わず視野探し、MAP機能で観察をサポート 基本操作はこんなに簡単・スピーディ 画像観察までわずか3分。 目的のデータを素早く取得し、レポート作成が可能。 Report ...

分解能: 2.8, 60, 4, 3.5 nm

... NX2000は、半導体アプリケーション（KLARF座標インポートによる欠陥解析、TEMラメラ抽出、デバイス開発）に最適化されたFIB-SEMです。205 x 205 mmのX,Y移動量を持つサンプルステージは、200 mmウェハの全面を回転させることなく処理することも可能です。垂直に取り付けられたGa FIBは、30 kVで最大100 nAのイオン電流が可能です。FE-SEMカラムにはコールドフィールドエミッターが装備されています。 ...